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公开(公告)号：CN113834518A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202110843924.8
申请日：2021-07-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本申请涉及一种传感器结构，包括SOI硅片，SOI硅片的一侧设置至少两种传感电阻，SOI硅片的另一侧设置一空腔，至少两种传感电阻位于空腔的沿SOI硅片的厚度方向的投影区域内。还涉及一种传感器结构的制备方法，包括以下步骤：提供SOI硅片；在SOI硅片的一侧形成至少两种传感电阻，以及，在SOI硅片的另一侧形成一空腔，至少两种传感电阻位于空腔的沿SOI硅片的厚度方向的投影区域内。本申请通过设置至少两种传感电阻及空腔，利用空腔的可变形性满足传感电阻的工作需求，可对多种参数同时进行监测。
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公开(公告)号：CN111024273B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201911382428.6
申请日：2019-12-27
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种具有温度稳定性的压力传感器及其制备方法，压力传感器包括第一电极、第二电极与聚合物介电层，第一电极与第二电极分别位于聚合物介电层的两个相对表面，聚合物介电层中分散有介电常数温度系数为负值的介电改性物。本申请在聚合物介电层加入介电常数温度系数为负值的介电改性物，从而通过调控介电层的介电常数对温度的变化，以补偿温度变化对介电层厚度和电极面积的影响，获得温度稳定的电容式压力传感器。
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公开(公告)号：CN113147202A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110168584.3
申请日：2021-02-07
Applicant: 清华大学 , 浙江清华柔性电子技术研究院
IPC: B41K1/38
Abstract: 本公开涉及一种柔性半导体薄膜的转印方法、装置及液滴印章，该方法包括：在印章承载体上形成第一液滴，得到液滴印章；控制液滴印章靠近柔性半导体薄膜，以利用第一液滴在柔性半导体薄膜与印章承载体之间形成第一液桥；移动液滴印章，并利用第一液桥将柔性半导体薄膜吸附到液滴印章上；在柔性衬底上形成第二液滴；控制液滴印章靠近第二液滴，以利用第二液滴在柔性衬底和柔性半导体薄膜之间形成第二液桥；移动液滴印章，利用第二液桥将柔性半导体薄膜吸附到柔性衬底上、并使柔性半导体薄膜与液滴印章分离，完成柔性半导体薄膜的转印，该方法能够避免半导体薄膜在转印过程中被损坏，并且能够高效率制备混合集成柔性器件。
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公开(公告)号：CN112736445A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011568408.0
申请日：2020-12-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 光调节柔性天线及其制作方法，该光调节柔性天线包括柔性基体层、线路层及光敏感材料，所述线路层设置于所述柔性基体层上，所述光敏感材料设置于所述柔性基体层内，所述柔性基体层的介电性能根据照射光线的特性发生改变。该光调节柔性天线能够通过光线的照射调节柔性天线的电学性能参数进行改变。
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公开(公告)号：CN112674718A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011385100.2
申请日：2020-12-01
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及脑成像领域，特别是涉及脑成像检测装置。一种脑成像检测装置，包括基底及多个检测模块，所述基底能够穿戴于待检测体，所述检测模块设于所述基底上并能够与待检测体接触；所述基底包括柔性的第一区域，所述第一区域能够拉伸变形，所述脑成像检测装置还包括多个测量模块，多个所述测量模块分别设于多个所述检测模块之间，能够实时测量相邻的所述检测模块之间的距离。本发明的优点在于：能够适用于不同尺寸的待检测体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112515646A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011313120.9
申请日：2020-11-20
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: A61B5/0215
Abstract: 本发明公开了一种压力传感器，压力传感器包括柔性基体和复合于柔性基体表面的谐振电路层，柔性基体的材料包括温敏形状记忆聚合物，谐振电路层包括电容区、连接于电容区两端的第一线圈区和第二线圈区。本发明还公开了压力传感器制备方法及使用方法。本发明的压力传感器中，柔性基体采用温敏形状记忆聚合物制成，具有良好的形态记忆效果并且整体呈柔性，可减少甚至避免对血管造成额外的损伤。另外，谐振电路层复合于柔性基体的表面，以监控血管内压力的变化，检测效果好；压力传感器卷绕呈环形，以提高压力传感器与血管壁的贴合效果，检测准确性高。
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公开(公告)号：CN112326097A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011049050.0
申请日：2020-09-29
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: G01L9/08 , A61B5/00 , A61B5/0215 , C23C14/35 , C23C14/04
Abstract: 本发明提供一种柔性压力传感器及其制备方法，该制备方法包括：使压力传感基材于粘结层的表面形成具有预设图案的压力传感单元；使压力传感单元自粘结层的表面转印至导管的表面；使导电填料于导管的表面形成可延展导线，且可延展导线电连接于压力传感单元，得到柔性压力传感器；其中，导管的半径为0.25mm‑0.80mm。该制备方法能够通过曲面转印来实现在较小导管表面集成压力传感单元，制备得到的柔性压力传感器与导管的共形程度好，结构牢靠，因而信号检测的准确率较高。
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公开(公告)号：CN112226033A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202011110253.6
申请日：2020-10-16
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明提供一种具有鲁棒界面的可拉伸应变材料及其制备方法，该制备方法包括：制备具有不同分散形态的第一复合材料和第二复合材料，提供溶胀剂，通过溶胀剂对第一边沿部和第二边沿部分别进行溶胀，在第一压力的作用下将溶胀后的第一边沿部和第二边沿部进行搭接，并经过第三固化处理形成连接部，得到具有鲁棒界面的可拉伸应变材料。该制备方法能够实现具有鲁棒界面的可拉伸应变材料在大拉伸率时能保持良好的应变性、导电性及可靠性。
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公开(公告)号：CN110840417B
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201911112839.3
申请日：2019-11-14
Applicant: 清华大学 , 浙江清华柔性电子技术研究院
Abstract: 本公开涉及一种柔性可延展温度传感装置及其制造方法，该装置包括：柔性基底层、柔性封装层、功能层和多个外接导线，功能层包括至少一个第一功能部和至少一个第二功能部，第一功能部、第二功能部的阻值随所处环境的温度、所受压力的变化而变化，功能层位于柔性基底层上，且第一功能部和第二功能部在柔性基底层上同一平面内并列间隔放置或者垂直重叠放置；多个外接导线，分别与至少一个第一功能部和至少一个第二功能部连接；柔性基底层用于承载功能层和柔性封装层；柔性封装层，用于对功能层进行封装。本公开实施例所制造的装置结构简单，具有良好的柔性、可延展性，且在装置受力产生大变形的情况下，也可以保证温度检测的准确度和精度。
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公开(公告)号：CN111138788A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911364940.8
申请日：2019-12-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: C08L33/24 , C08L29/04 , C08L33/02 , C08L5/12 , C08L5/08 , C08L71/02 , C08F220/54 , C08F222/38 , C08F222/20 , C08K3/08 , G01K7/22
Abstract: 本发明提供一种温敏凝胶的制备方法，包括将液态金属、N-异丙基丙烯酰胺及其衍生物、交联剂、引发剂分散于介质中，制得混合液；使混合液在载体上形成预制体，并进行第一固化处理。温敏凝胶能够响应外部温度的变化，并在外部温度达到预设温度T2时，使分散于第一聚合物内的液态金属在连续相和分散相之间切换。所制得的温敏凝胶具有负温度效应，能在外部温度达到预设温度T2时实现导电；由于液态金属具有良好的导电性能和传热性能，使得温敏凝胶具有较高的灵敏度。本发明还提供由该制备方法制得的温敏凝胶、温敏传感器及其制备方法。
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