微细电铸用模具及其制造方法

    公开(公告)号:CN1313646C

    公开(公告)日:2007-05-02

    申请号:CN03800981.1

    申请日:2003-02-18

    CPC classification number: C25D1/10

    Abstract: 一种容易制造的具有简单结构的微细电铸模具。为了提高由金属薄膜构成的金属制品的产量,在电铸过程中用作阴极的电极部分可以以更高的密度布置,且形成在电极部分上的金属薄膜可容易地剥离。该模具具有持久力,且可多次使用。还公开了一种以更高的精度通过更简单的方式制造该微细电铸模具的制造方法。微细电铸模具(M)具有电铸时用作阴极的导电性基板(1)。在导电性基板(1)的表面上,具有抵达导电性基板(1)且其形状自上方观看时相应于金属制品(P)的形状的开口(21)的绝缘层(2)由无机绝缘材料形成,其厚度T2不小于10nm且小于金属制品(P)的厚度T1的1/2。将从开口(21)部分处露出的导电性基板(1)的表面用作电极部分。制造方法如下。在除构图形成有抗蚀剂膜(R)的区域之外的区域上,在导电性基板(1)的表面上,通过气相生长法形成单层或多层无机膜(2′)以生长为绝缘层(2)。之后,去除抗蚀剂膜(R),在无机薄膜(2′)中形成开口(21),该开口具有自上方看时与金属制品(P)的形状相应的形状并抵达导电性基板(1)。

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