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公开(公告)号：CN306638443S
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202030733700.8
申请日：2020-12-01
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：半导体抛光装置。
2.本外观设计产品的用途：用于对半导体晶片等进行抛光。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.变化状态1主视图示出了前面板打开的状态；变化状态2主视图、变化状态2右视图、变化状态2立体图示出了顶环降下的状态；参考图1示出了使用多个本外观设计产品进行半导体抛光的情况下的布局。
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