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公开(公告)号：CN112495675A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011163897.1
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
IPC: B05B17/06
Abstract: 本发明提供了基于多源激振的高通量微液滴发生装置，利用多个声振源产生会聚叠加的声波信号作用于微米级的小孔附近，使经小孔喷射出的液体射流受到扰动，由于瑞利失稳现象而断裂形成小液滴，并且能够消除液滴队列中的卫星液滴。设置声透镜结构，使声振源产生的声波信号能更集中地会聚叠加；声透镜将压力液体容腔内的液体和声振源的激振元件隔离开来，可以防止激振元件受损；压力液体容腔和声透镜与液体接触的表面采用产生污染物少的材料以适应高洁净度场合；同时利用本发明提供的液滴发生装置，向多个声振源分别提供不同频率的正弦波形激励信号，声振源产生的声波信号也是正弦波形，便于修改波形参数以获得对液滴形态更好的操控效果。
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公开(公告)号：CN112304376A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011163868.5
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及基于数据融合的超声波流量计流量测量方法。本发明兼具相关法和阈值法两种超声波传播时间检测方法所具有的优点，可以有效抵抗温度变化、老化等因素导致的信号幅值衰减和畸变问题，可以解决现有超声波流量计传播时间检测方法存在的抗干扰性能差的问题，提高流量计的抗干扰能力，增强流量测量结果的可靠性，提高测量准确度。
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公开(公告)号：CN112303121A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011162483.7
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
IPC: F16C32/04 , F16C37/00 , F04D29/048
Abstract: 本发明涉及一种具有三自由度磁轴承的磁悬浮泵，包括三自由度磁轴承与旋转驱动组件，三自由度磁轴承对转子及叶轮起到悬浮和定位作用，旋转驱动组件具有外转子结构；主要用于解决二自由度无轴承电机应用于泵时，转子在轴向上出现的不稳定现象。并且改善悬浮绕组磁链和驱动绕组磁链之间存在的耦合问题，降低电机控制难度。结构紧凑，便于应用于高洁净度场合；旋转驱动绕组与悬浮绕组磁链不耦合，便于控制。
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公开(公告)号：CN112272426A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011162486.0
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种EUV光源锡靶液滴发生装置。本发明熔池容纳于腔体内，熔池内容纳锡料；向熔池内供给压力气体使腔内压力保持对外部环境的正压；所述的腔体底部设置喷孔，喷孔的直径在1微米至1000微米范围内；所述的微波源设置于腔体内部和熔池外部；所述的激振元件设置在熔池内，用于对喷孔附近的锡料施加振动扰动；在熔池内部设置红外温度传感器监测锡料的温度。具有加热速度快，加热均匀，能耗低的优点；不需要额外配备锡料预熔和输送装置，同时降低了污染锡料的风险；避免了热电偶等传感器在微波环境中可能出现的打火风险；避免微波作用于锡料产生打火现象。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102207685B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201110024302.9
申请日：2011-01-22
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的磁流体注入和回收装置。由电磁铁、磁极、密封固定环和磁流体组成的装置安放在投影透镜组和基底之间。经表面超憎水处理过的内侧磁极内表面形成用于约束浸没液体流场的内层密封带；当线圈两个电磁铁组通以同相位交变电流时，往基底与浸没单元的缝隙之间注入并保持与浸没液体不相溶的磁流体形成环状的外侧密封带；当通以反相位交变电流时，磁流体进入两对磁极对之间的环状空间内，实现磁流体的回收。利用流场外侧的磁流体注入圈提高密封功能承受的最大密封压力以及高速扫描所产生的剪切力；交变的磁场使得对于颗粒尺寸较大的磁流体也能用于密封；磁流体回收实现了密封装置停机时磁流体的回收和保存功能。
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公开(公告)号：CN102354084A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110168788.3
申请日：2011-06-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于PVDF的浸没式光刻机流场压力传感器。包括含屏蔽膜的PVDF压力传感元件，以及由电压放大电路、电荷放大电路和滤波电路组成的信号处理装置。含屏蔽膜的PVDF压力传感元件产生的电荷信号，通过电荷放大器输出端接电压放大器输入端，电压放大器输出端接滤波电路输入端，电荷放大电路输入端带有配套BNC接口与含屏蔽膜的PVDF压力传感元件的BNC接口连接。本发明含屏蔽膜的PVDF压力传感元件具有灵敏度高、阻抗低和柔韧性好等特点，安装方便简单，对流场干扰很小。信号处理装置将PVDF压力传感元件输出的电荷信号调理为能够被采集的-5~5V电压信号，并有效地抑制了零漂及噪声干扰。
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公开(公告)号：CN102207685A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110024302.9
申请日：2011-01-22
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的磁流体注入和回收装置。由电磁铁、磁极、密封固定环和磁流体组成的装置安放在投影透镜组和基底之间。经表面超憎水处理过的内侧磁极内表面形成用于约束浸没液体流场的内层密封带；当线圈两个电磁铁组通以同相位交变电流时，往基底与浸没单元的缝隙之间注入并保持与浸没液体不相溶的磁流体形成环状的外侧密封带；当通以反相位交变电流时，磁流体进入两对磁极对之间的环状空间内，实现磁流体的回收。利用流场外侧的磁流体注入圈提高密封功能承受的最大密封压力以及高速扫描所产生的剪切力；交变的磁场使得对于颗粒尺寸较大的磁流体也能用于密封；磁流体回收实现了密封装置停机时磁流体的回收和保存功能。
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公开(公告)号：CN102048536A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201110024299.0
申请日：2011-01-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于头外空间磁场重构的脑磁源定位方法。该方法基于大脑内部神经元活动在头外空间产生相应磁场，通过磁场测量传感器测量头外部表层法向磁通密度分布；以外部表层法向磁通密度为边界条件重构出头外空间的三维脑磁场分布；联合头外部表层测量所得脑磁场法向磁通密度数据与重构所得头外空间的三维脑磁场分布的相对头皮的法向磁通密度数据，对脑内活动神经元，即脑磁源，的空间位置、姿态与强度参数进行逆向求解，实现脑磁源定位。与传统的脑磁源定位方法相比，该方法通过头外空间磁场重构使脑内神经元活动逆向求解时的样本点大大增加，并利用磁场重构对测量噪声的滤波作用使样本群的有效信息含量提高，使脑磁源定位具有更高精度。
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公开(公告)号：CN101403861B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200810121871.3
申请日：2008-10-21
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于光刻机的浸没自适应密封控制装置。浸没自适应密封控制装置是在投影透镜组和衬底之间设置的装置，由密封构件和自适应密封件组成。当液体由于衬底牵拉形成对自适应密封件冲击时，该结构能够吸收高速运动液体形成的冲击，并将其转化为增强密封的动力；反之，当衬底牵拉液体远离自适应密封件之时，该结构内部预存的液体将跟随进入缝隙流场，避免由于边界液体的缺失引起的气泡卷吸，同时，内部预存液体的减少将降低自适应密封件的密封动力，泄漏的液体由于受到阻碍的减少而跟随衬底回流到缝隙流场内部。浸没自适应密封控制装置的液体输送方式采用负压回收、注液端自由流动，避免了注液与回收压力不协调导致的流场波动。
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