公开(公告)号：CN212082385U

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN202021188143.7

申请日：2020-06-24

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 王育新 ,  朴林华 ,  朴然 ,  李美樱 ,  王灯山

IPC: G01C19/58

Abstract: 本实用新型公开了一种“T”字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的三对加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN210222060U

公开(公告)日：2020-03-31

申请号：CN201921478051.X

申请日：2019-09-06

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 田文杰 ,  陈福彬 ,  朴林华 ,  田子敬 ,  朴然

IPC: G01P15/09

Abstract: 本实用新型涉及敏感电子学技术领域，尤其是涉及一种电路内嵌式12电极石英加速度计，可应用于飞行器、车辆、舰船、工业自动化领域等的检测控制系统。该电路内嵌式12电极石英加速度计包括：外壳、支撑座、敏感元件、内嵌式电路板和插座；所述外壳与所述支撑座连接装配成一腔体；所述插座设置于所述支撑座上；所述敏感元件设置于所述支撑座上；所述内嵌式电路板设置于所述敏感元件的内部。本实用新型采用六电极20MHz的谐振器作信号获取元件，通过将六电极谐振器的激励电路改进为内嵌式，并置于敏感元件的腔体之内，提高了检测的灵敏度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利