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公开(公告)号：CN103075954B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210573818.3
申请日：2012-12-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及曲面结构电场式时栅角位移传感器的制造方法，具体为一种曲面结构电场式时栅角位移传感器微纳制造方法，包括测头基体制造方法和定尺基体制造方法，本发明采用微纳工艺制造曲面结构电场式时栅角位移传感器，解决了现有曲面结构电场式时栅角位移传感器传统加工过程中制造精度低、特殊结构图形转移易失真等技术难题。该方法可以提高加工过程中的制造精度，实现利用微纳制造方法来加工大尺寸曲面结构器件，利用该方法制造的曲面结构电场式时栅角位移传感器具有精度高、测量范围大、分辨率高、可靠性好、成本低等特点。
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公开(公告)号：CN102661796B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201210111111.0
申请日：2012-04-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及光电标识技术，具体是一种MEMS红外光源阵列主动式光电标识方法。本发明解决了现有光电标识技术受外界环境影响大、无法满足全天候工作要求、不可用于非对称情况下的隐形标识、识别效率低、以及反射光视场范围小的问题。MEMS红外光源阵列主动式光电标识方法，该方法是采用如下步骤实现的：a.制作红外光源阵列模块；b.FPGA控制红外光源阵列模块的辐射信号呈现为单点红外光斑信号；c.FPGA控制红外光源阵列模块的辐射信号呈现为循环切换的点阵图形信号。本发明适用于飞机降落指引、船舶引航、路线标记、桥梁标记、人员搜索和营救、近地面空间无线通信、以及军事目标的识别与跟踪等领域。
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公开(公告)号：CN103354272A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201310235574.2
申请日：2013-06-15
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/22 , H01L41/37 , H01L41/33 , H01L41/333
Abstract: 本发明为一种卷对卷制备大面积微纳米结构发电机薄膜的方法，解决了现有制备微纳米结构发电机薄膜的方法存在工艺复杂、产品面积受尺寸限制等问题。该方法首先将碳纳米管和压电颗粒按比例混入到液态PDMS制成可塑性聚合物，然后将可塑性聚合物放置于压印装置内并依次通过初步成型、压印、固化定型步骤在可塑性聚合物上压印得到微纳凹凸结构，最后对可塑性聚合物溅射电极即制备得到了微纳米结构发电机薄膜。本发明方法工艺简单、成本低、可重复性好，可实现快速、批量制作出大面积、厚度和成分均匀的柔性薄膜材料。本发明为实现微能源的集成化、规模化、商业化，对于新能源开发、可再生能源重复利用奠定了基础。
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公开(公告)号：CN103162724A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310074289.7
申请日：2013-03-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及光纤光栅的解调技术，具体是一种基于动态扫描的光纤光栅传感解调仪及方法。本发明解决了现有光纤光栅的解调技术解调速度低、解调精度低、使用不方便、使用成本高、以及适用范围窄的问题。基于动态扫描的光纤光栅传感解调仪包括宽带光源、可调谐滤波器、光纤耦合器、隔离器、光纤光栅、标准具、第一光电探测器、第二光电探测器、第一信号放大调理电路、第二信号放大调理电路、多路同步A/D转换器、基于FPGA的解调控制电路、计算机、D/A转换器、以及高压驱动放大电路。本发明适用于光纤光栅传感器。
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公开(公告)号：CN102568817A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210051164.8
申请日：2012-03-01
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及电容器及其制造技术，具体是一种基于三维硅微结构的MEMS电容器及其制造方法。本发明解决了现有MEMS微型电容器抗过载能力低、容量体积比小、环境适应性差、以及可靠性差的问题。一种基于三维硅微结构的MEMS电容器包括硅基底；硅基底上表面加工有大比表面积三维深槽结构；硅基底上表面和大比表面积三维深槽结构内腔表面形成有电学绝缘层；电学绝缘层上表面形成有下电极层；下电极层上表面形成有电介质层；电介质层上表面形成有上电极层；下电极层部分曝露于上电极层外。本发明是一种全固态静电式MEMS电容器，其完全满足引信电源、MEMS微能源、交通运输等领域中的微型化、智能化、集成化的发展需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101814860B
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201010142644.6
申请日：2010-04-09
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及微能源领域，具体是一种基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源。适应了微电子机械系统发展对微能源的需要，包括基底、外围基座、悬臂梁、质量块，基底与外围基座的下表面键合固定，质量块中央开设有竖直通孔，质量块的上表面和/或下表面上加工有感应线圈；基底上表面固定有微型永久性柱状磁体，悬臂梁上设有PZT压电薄膜；外围基座上设置有若干外接引线键合焊盘，感应线圈两端和PZT压电薄膜的两极化表面分别经引线与相应的外接引线键合焊盘连接。本发明结构合理、简洁，易于小型化与集成化，能以高输出能量密度和高输出效率为微电子机械系统提供电源，实现微电子机械系统自给供电，满足微电子机械系统发展对微能源的需要。
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公开(公告)号：CN102324972A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110132901.2
申请日：2011-05-23
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS红外光源阵列的编码调制方法，包括MEMS红外光源阵列、调制频率模块、图形编码模块、阵列扫描模块和源码程序模块；本发明解决了对MEMS红外光源进行编码调制的问题，本调制方法可以使MEMS红外光源阵列以有效调制方式实现最大效率的发射中波段(3μm～5μm波长)红外光信号，进而实现基于MEMS红外光源的具有抗干扰能力强、穿透力强、保密性强等优点的远距离通信、目标识别等功能。本发明立足于红外光源应用领域，为基于MEMS红外光源的远距离通信、目标识别技术提供一种可靠的阵列结构编码调制方法。
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公开(公告)号：CN101590999B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200910074573.8
申请日：2009-06-26
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/083
Abstract: 本发明涉及微执行器驱动构件，具体是基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件。解决了现有微执行器驱动构件存在的响应速度慢、驱动位移小等问题，步骤：①配制铅基反铁电材料前躯体溶胶、PbO溶胶；②在支撑基底Pt金属层上制得铅基反铁电材料厚膜；③在铅基反铁电材料厚膜上旋涂PbO溶胶，退火处理；④在铅基反铁电材料厚膜上溅射作为上电极的金属层、以及压焊点；⑤对支撑基底背面腐蚀，减薄支撑基底中部厚度；对铅基反铁电材料厚膜、支撑基底中部正面刻蚀，形成外围基座、与外围基座单端相连的悬臂梁结构。工艺、结构简单，实现了反铁电材料在微执行器驱动构件领域的应用，为实现快速响应、大位移量微驱动构件设计和制造提供了全新思路。
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公开(公告)号：CN101596456A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200910074826.1
申请日：2009-07-06
Applicant: 中北大学
IPC: B01J23/745 , B01J21/06 , B01J37/34 , C02F1/72 , C02F1/30
Abstract: 本发明涉及一种以Fe3O4为核心的纳米颗粒，具体为一种具有核壳结构的TiO2/SiO2/Fe3O4纳米颗粒及其制造方法。解决纳米TiO2颗粒催化剂在污水处理时自然光下催化效率低、难于同时满足控制回收和保持高催化活性等技术问题。步骤包括制备SiO2/Fe3O4溶液，配备钛溶胶，把制备好的SiO2/Fe3O4溶液和钛溶胶混合。本发明采用具有铁磁性微粒作为载体芯，制成具有核壳结构的TiO2/SiO2/Fe3O4粒子作为催化剂，该催化粒子具有很好的分散性和水溶性，能与污水中的有机污染物充分接触，既具备悬浮相光催化剂的高效性，同时超顺磁的磁核能实现对催化剂的磁控，从而有效回收。
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