一种双频激光干涉测量信号解调的前处理装置和方法

    公开(公告)号:CN113280729A

    公开(公告)日:2021-08-20

    申请号:CN202110577202.2

    申请日:2021-05-26

    Abstract: 本发明提供的是一种双频激光干涉测量信号解调的前处理装置和方法。所述装置包括光电转换模块1,高通滤波器2,信号补偿模块3,DDS信号发生模块4,模拟乘法器模块5、6,低通滤波器模块7、8,信号补偿模块9、10,模数转换模块11、12,FPGA模块13。所述方法为利用硬件设计的高通滤波器,乘法器电路和低通滤波器电路等设计模拟运算电路以取代FPGA解调算法中极耗资源的前置数字信号处理部分完成双频激光干涉测量信号解调的前处理。本发明可用于双频激光干涉测量的高速相位细分的运算,可有效降低系统运算性能的需求、提高运算的速度、降低运算的延迟以及降低系统的成本。

    一种基于光栅读头组合的位移测量方法

    公开(公告)号:CN112344859A

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN202010963122.6

    申请日:2020-09-14

    Abstract: 本发明提供的是一种基于光栅读头组合的位移测量方法,属于精密测量领域。其特征是:所述测量方法由建立光栅尺位移测量系统模型1、划分测量区域2、各自由度读头组合分析3、规划运动轨迹4和最优读头组合选取5五个部分组成。根据光栅尺位移测量系统模型1可得一个描述光栅尺测量计数与运动台之间变化关系的测量模型,采用光栅尺测量计数即可间接求解运动台位置。划分测量区域2可得小范围内不同读头组合的测量差异,提高系统精确度。规划运动轨迹4根据运动台的运动特性,模拟运动台的运动轨迹,得到各个光栅读头的干涉条纹数,干涉条纹数所包含的位移信息经位移测量系统模型解算,输出运动台当前的位置信息即运动台的六自由度。最优读头组合选取5选取在不同区域内各自由度误差最小的读头组合,在最小解算误差读头组合有变化时,临界区域进行读头切换,对全量程范围内测量时各自由度读头组合进行优化。本发明可用于运动台位移测量、机床定位、校准等领域。

    一种考虑安装误差的光栅读数头组合优化方法

    公开(公告)号:CN112097653A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN202010963136.8

    申请日:2020-09-14

    Abstract: 本发明提供的是一种考虑安装误差的光栅读数头组合优化方法,属于精密测量领域。该优化方法包括:对测量系统安装误差进行定义;对安装误差项进行选取,分析各安装误差项,将主要影响测量系统的安装误差项进行摘取和分类;对所选取安装误差项的安装误差范围进行设定;将安装误差引入测量模型,通过各误差相互对比的方式得到不同安装误差下的模型误差变化量,建立含有安装误差的位移测量模型;规划运动台运动轨迹,解算各读数头组合下的运动台六自由度位置,计算测量误差并对误差最小的读数头组合进行选取,得到包含安装误差影响因素的光栅读数头组合。本发明内容可广泛应用于运动台安装误差分析、光栅尺位移系统的位移测量优化、机床定位、校准等领域。

    一种基于FPGA的CORDIC优化方法

    公开(公告)号:CN111949934A

    公开(公告)日:2020-11-17

    申请号:CN202010845215.9

    申请日:2020-08-20

    Abstract: 本发明公开一种基于FPGA的CORDIC优化方法,基于FPGA的CORDIC优化方法包括阈值判断模块,用来判断中间位数据是否符合taylor算法启用条件;查找表模块,构造一个低容量查找表对输入三角函数进行预旋转,输出前几次旋转的结果,减少CORDIC算法的旋转次数,从而减少硬件规模消耗;taylor算法计算模块,通过调用乘法器和加法器以完成taylor展开公式的硬件实现,用来完成对输入三角函数的计算;CORDIC算法计算模块,采用流水线结构设计,用来完成对输入角度的计算;象限补偿模块,用来对最终结果进行校正。本发明具有低延迟,低误差,硬件资源占用少的特点。

    基于FPGA的亚稳态真随机数发生器

    公开(公告)号:CN111949242A

    公开(公告)日:2020-11-17

    申请号:CN202010843022.X

    申请日:2020-08-20

    Abstract: 本发明提供的是一种基于FPGA的亚稳态真随机数发生器,该亚稳态真随机数发生器由2个高频环路振荡器、等效建立时间延迟单元、防亚稳态扩散单元以及后处理单元组成,高频环路振荡器包括3个反相器,等效建立时间延迟单元包括一个D除法器一个异或门和一个延迟单元,异或门和延迟单元通过反馈结构由D触发器输出端连接到输入端,防亚稳态扩散单元包括2个D触发器前后级联,后处理单元包括2个D触发器2个与门和一个查找表,通过边沿检测方法对真随机数进行纠偏,本发明优点是实现方便,有广泛的可移植性,生成真随机数速度快,可用于生成高速的真随机数序列,可广泛用于密钥加密算法、防御旁道攻击和随机事件仿真测试等领域。

    一种太赫兹波段温控开关器件

    公开(公告)号:CN111641010A

    公开(公告)日:2020-09-08

    申请号:CN202010542796.9

    申请日:2020-06-15

    Abstract: 本发明提供的是一种太赫兹波段温控开关器件。其特征是:它由基底1,明模谐振器2,暗模谐振器3,温控半导体4组成。通过明模谐振器2、暗模谐振器3在基底1上与太赫兹波发生作用,在传输图中产生透明窗口,此状态为温控开关器件的“开”状态,温控半导体4填充在暗模谐振器3掏空的位置,当环境温度从200K上升到240K时,由于温控半导体4的电导率增加,使暗模谐振器3的阻尼率突增,影响明模谐振器2和暗模谐振器3之间的共振,传输图中的透明窗口消失,只有一个较大的共振峰,此状态为温控开关器件的“关”状态。本发明可用于实现太赫兹波通过与否的调控,可广泛用于太赫兹通信等领域。

    一种光栅尺标定装置及标定方法

    公开(公告)号:CN108801158B

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201810939618.2

    申请日:2018-08-17

    Abstract: 本发明提供一种光栅尺标定装置,包括运动台和测量装置,运动台处于封闭的微环境区域内,测量装置设置于运动台上;测量装置包括承载台;承载台上设置有4个读头,每个读头分别处于一四边形的顶点处;在每个读头的上方设置有一平面光栅;承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜,由第二平面延伸形成第四反射镜,承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜;测量装置还包括第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪,第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置,第一干涉仪与第一反射镜同侧设置;测量装置还包括两第三反射镜,第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜。

    基于Open VPX的高精度高速运动台同步运动控制系统及方法

    公开(公告)号:CN110096035A

    公开(公告)日:2019-08-06

    申请号:CN201910396835.6

    申请日:2019-05-14

    Abstract: 本发明提出一种基于Open VPX的高精度高速运动台同步运动控制系统,包括系统控制卡、运动控制卡、数据采集控制卡、光栅信号处理卡、多通道数模转换控制器、运动台环境信息采集卡、电机驱动器、电涡流采集板、传感器信息采集板、光栅尺读数头和上位机。本发明采用Open VPX支持VITA66.4光互连背板总线协议,采用的光纤连接器支持多通道光纤互连,单通道的数据传输速率可达14Gbps,采用光互连背板总线进行数据传输,可以满足高端光刻机运动台同步控制系统不断提升的高伺服频率,大数据量和高实时性的要求。

    基于复合型全介质的温度可调太赫兹吸收器

    公开(公告)号:CN217215088U

    公开(公告)日:2022-08-16

    申请号:CN202220905635.6

    申请日:2022-04-19

    Abstract: 本实用新型涉及吸波器技术领域,具体涉及一种基于复合型全介质的温度可调太赫兹吸收器,包括多个太赫兹吸收器单元,多个太赫兹吸收器单元呈阵列分布,且相邻的太赫兹吸收器单元固定连接,每个太赫兹吸收器单元包括介质层、温控层和基底层,介质层、温控层和基底层从上到下依次堆叠。通过给基于复合型全介质的温度可调太赫兹吸收器加热,改变温控层的物理性质,从而改变基于复合型全介质的温度可调太赫兹吸收器的性能,实现对基于复合型全介质的温度可调太赫兹吸收器吸收率的主动控制。

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