公开(公告)号：CN115597671A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211329624.9

申请日：2022-10-27

Applicant: 北京理工大学(CN)

Inventor： 王晓毅 ,  刘钟一 ,  谢会开 ,  方明东

IPC: G01F1/688 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种基于剪纸结构的双模柔性量热式流量传感器及其制备方法。本发明通过在硅片上依次形成第一柔性基底层、第二柔性基底层、第一热敏电阻、第二热敏电阻和第三热敏电阻。与硅基加工工艺不同，本发明首创性的提出了一种柔性基底的悬浮结构一体式加工工艺。先在空腔处构建牺牲层，在传感层构建完成之后，与硅基直接刻蚀基底不同，本发明采用丙酮洗去牺牲层厚胶的工艺形成悬浮结构。之后剥离硅基底从而形成带有悬浮结构的柔性量热式流速传感器。由于本发明采用一体式加工工艺和双模柔性基底制作传感器及它的悬空和剪纸结构，传感器具有稳定性高，热耗散低，灵敏度高，具有复杂曲面保型贴合的特点。

公开(公告)号：CN114019675A

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN202111155662.2

申请日：2021-09-29

Applicant: 北京理工大学 ,  无锡微奥科技有限公司

Inventor： 谢会开 ,  王鹏

IPC: G02B26/08

Abstract: 本公开公开了一种二维微镜。该二维微镜包括外框架及套设于所述外框架内侧的内框架；所述外框架与所述内框架之间设置有第一驱动器；所述内框架的内侧设置有第二驱动器；所述第一驱动器和所述第二驱动器均为电热驱动器，或者，所述第一驱动器为电热驱动器、所述第二驱动器为静电驱动器；所述第一驱动器包括支撑梁及驱动臂组件；所述支撑梁连接在所述内框架的外侧，所述驱动臂组件与所述支撑梁连接，所述驱动臂组件设置有多个，多个所述驱动臂组件沿第一方向排布，所述第一方向为所述支撑梁的长度方向。

公开(公告)号：CN112859047A

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN202110040233.4

申请日：2021-01-13

Applicant: 北京理工大学 ,  无锡微奥科技有限公司

Inventor： 谢会开 ,  王鹏 ,  杨文

IPC: G01S7/487 ,  G01S7/493

Abstract: 本申请公开了一种离轴激光雷达及其回波的接收方法，该离轴激光雷达包括激光发射单元和激光接收单元，其中，激光接收单元包括：滤光片，用于对离轴激光雷达的的回波进行过滤，且滤光片为透光波长包含激光发射单元所发射激光波长的窄带滤光片；滤光片驱动器，用于转动滤光片以使离轴激光雷达的回波以预定角度范围内的一个角度入射到滤光片上；光电探测器，用于对滤光片过滤后的回波进行接收，且将接收到的回波进行光电转换。本申请解决了现有离轴激光雷达在具备较强回波接收能力的同时信噪比较低的技术问题。

公开(公告)号：CN218097631U

公开(公告)日：2022-12-20

申请号：CN202222585287.1

申请日：2022-09-28

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 ,  北京理工大学 ,  重庆虹势科技有限公司

Inventor： 张新超 ,  张瑞浩 ,  谢会开 ,  郑栋

IPC: G01B11/25 ,  B81B7/02

Abstract: 本实用新型公开了一种基于MEMS的3D结构光测量系统，该系统包括同步控制电路、微镜驱动控制电路、微镜位置检测电路、激光驱动控制电路、图像运算处理器电路、图像采集设备、光源和MEMS微镜；所述同步控制电路分别与所述微镜驱动控制电路、所述微镜位置检测电路、所述激光驱动控制电路、所述图像运算处理器电路和所述图像采集设备连接；所述激光驱动控制电路与所述光源连接；所述微镜驱动控制电路分别与所述微镜位置检测电路和所述MEMS微镜连接；所述图像运算处理器电路与所述图像采集设备连接。本实用新型有效地解决了现有结构光测量系统速度低、功耗高、体积大的问题。