公开(公告)号：CN1227637A

公开(公告)日：1999-09-01

申请号：CN97197072.6

申请日：1997-08-06

Applicant: 克拉里安特国际有限公司

Inventor： 卢炳宏 ,  R·R·达默尔 ,  E·G·克吉达 ,  S·S·迪克斯特

IPC: G03F7/09 ,  G03F7/022

CPC classification number: G03F7/091 ,  G03F7/0226

Abstract: 一种光敏正性光刻胶组合物，包括一种成膜的酚醛清漆树脂、一种醌－二叠氮化物光活性化合物、一种溶剂和一种2，4－二硝基－1－萘酚染料的混合物，其中染料的含量超过光刻胶组合物总量的0.5wt.%。染料减小了反射性基体上光刻胶图形的线宽比的变化而不降低光敏组分的平面印刷性能。

公开(公告)号：CN1202913A

公开(公告)日：1998-12-23

申请号：CN96198607.7

申请日：1996-11-21

Applicant: 克拉里安特国际有限公司

Inventor： M·D·拉曼 ,  D·P·奥宾

IPC: C08G8/00 ,  G03F7/032

CPC classification number: C08G8/00 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236

Abstract: 本发明提供使用处理的螯合型离子交换树脂以制得中性铵盐或酸性形式,从而制备具有很低含量金属离子的光刻胶的方法。也提供使用这些光刻胶组合物制造半导体元件的方法。

公开(公告)号：CN1155889A

公开(公告)日：1997-07-30

申请号：CN95194671.4

申请日：1995-08-03

Applicant: 赫希斯特人造丝公司

Inventor： M·D·拉曼

IPC: C08G8/00

CPC classification number: G03F7/004 ,  C08G8/00 ,  C08G8/10 ,  C08G8/28 ,  G03F7/0236

Abstract: 本发明提供利用特殊处理过的阴离子交换树脂制造不溶于水，但可溶于碱水溶液的含极低量金属离子的线型酚醛树脂的方法。本发明也提供由这种线型酚醛树脂制造含极低量金属离子的光刻胶组合物的方法和利用这种光刻胶组合物制造半导体器件的方法。