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公开(公告)号：CN101846890B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201010170978.4
申请日：2010-05-13
Applicant: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 , 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种并行光刻直写系统，包括光源、图形发生系统、光学系统、控制系统、运动系统和工件平台，其特征在于：还设有聚焦伺服系统，所述聚焦伺服系统包括检测光路、传感器和调焦装置，所述光学系统由微缩系统和检测光路构成，其中的微缩系统采用双远心光学系统，检测光路包括检测光源、在双远心光学系统内的第一分光器件、在检测光源和第一分光器件间的第二分光器件，检测光经第一分光器件进入双远心光学系统并照射在工件平台处的工件上，反射光经第一分光器件和第二分光器件被传感器接收，控制系统根据传感器的信号控制调焦装置动作，实现伺服聚焦。本发明通过结合聚焦成像伺服系统，可以实现亚微米尺度微结构的精确光刻。
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公开(公告)号：CN101943859B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201010224532.5
申请日：2010-07-13
Applicant: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 , 苏州大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种卷对卷紫外纳米压印装置及方法，该装置包括传输装置、涂布装置、预固化装置、压印装置和强固化装置，该涂布装置将紫外光胶均匀的涂布于由传输装置传输的待压印材料上，经预固化装置流平和半固化之后，送至压印装置进行压印，最后通过强固化装置硬化成型。相对于现有的纳米压印技术，本发明的压印装置具有更高的生产效率和良率。本发明还揭示了一种利用上述装置实现卷对卷紫外纳米压印的方法。
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公开(公告)号：CN102346269A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110352070.X
申请日：2011-11-09
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
Abstract: 一种反射式彩色滤光片，包括三种颜色的像素阵列，每种颜色的像素为光栅结构，该光栅结构包括基底、介质光栅以及金属层，所述金属层全覆盖于介质光栅上，该金属层的厚度小于所述介质光栅槽宽的一半，所述介质光栅的厚度与所述光栅结构滤光颜色的补色光相对应。该反射式滤光片基于减色原理进行滤光，不仅具有较高的光能利用率，同时具有低的角度敏感性和利于制作等特点。
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公开(公告)号：CN101546003B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200910031264.2
申请日：2009-04-30
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
IPC: G02B5/20 , G02F1/1335
Abstract: 本发明公开了一种光栅结构彩色滤光片，主要由基板、黑色矩阵、彩色滤光层、保护膜和ITO导电膜组成，其特征在于：在所述基板上覆盖有介质膜层，该介质膜材料的折射率大于1.65，所述彩色滤光层为亚微米埋入式光栅结构，光栅由金属层和低折射率介质层构成，所述金属层位于近基板侧，所述低折射率介质层位于远离基板侧，介质材料的折射率小于1.65；通过不同的光栅结构参数获得不同颜色的光栅单元。本发明基于亚微米埋入式金属光栅结构，其TE、TM偏振光下的透射光谱特性相同，光能利用率高，输出光的纯度高，能进行超大幅面的制造。
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公开(公告)号：CN100580544C
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200710039276.0
申请日：2007-04-10
Applicant: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 , 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种新型衍射投影屏，包括屏幕主体及覆盖于屏幕主体表面的防护层，其特征在于：所述屏幕主体由透明或半透明材料构成，其上分布全息像素单元，单元的点阵结构是基于散斑的像面全息。通过激光分束及毛玻璃成像，以及利用压印技术，可以获得本发明的投影屏。本发明获得的投影屏实现了全息投影，不受环境光干扰、高亮度、高清晰；并突破了传统投影光学理念，创造性地将全息光学投影引入投影屏幕制造领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110531528B
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN201810560635.5
申请日：2018-05-25
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 , 苏州大学
IPC: G02B30/26 , G03H1/00 , G03H1/22 , H04N13/349 , H04N13/302
Abstract: 本发明涉及显示技术，特别涉及用于实现裸眼三维图像的多视角显示的装置。按照本发明一个方面的三维显示装置，其特征在于，包含：光源模组，其配置为发出第一光束；位于所述第一光束传播方向上的空间光调制器，其配置为通过振幅调制方式将多视角混合图像信息加载到所述第一光束上以形成第二光束；以及位于所述第二光束传播方向上的位相板，其具有衍射结构，所述衍射结构配置为将所述第二光束所承载图像中的不同视角的图像投射至各自对应的多个观察位置。
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公开(公告)号：CN118417683A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202310080615.9
申请日：2023-02-02
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 , 苏州大学
IPC: B23K26/046 , H01L31/18 , H01L31/0224 , B23K26/064
Abstract: 本发明涉及一种光伏电池片电极及其制作方法和制作装置、以及应用。光伏电池片电极的制作装置包括激光源、准直光束产生单元和光束聚焦单元；准直光束产生单元位于激光源的出光侧，用于将激光源射出的激光束转换成准直光束并投射至光束聚焦单元；光束聚焦单元位于准直光束产生单元的出光侧，用于将准直光束聚焦至待光刻电池片上。应用本发明的制作装置制作光伏电池片电极时，不需要多组空间光调制器、投影光学系统和照明光学系统，因此装置研制成本成倍下降；不需要数据处理和多路光路重叠对准，因而提升了制作可靠性和效率；可实现较高深宽比例如3μm～20μm线宽、1μm～20μm深、深宽比为0.3～2的电极图形沟槽的光刻，从而获得较为优质的光伏电池片电极。
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公开(公告)号：CN118330993A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202310034683.1
申请日：2023-01-10
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 , 苏州大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本申请提供一种多光学头并行的快速光刻系统及方法。所述系统包括：掩模版、基片及多个光学头，每个光学头包括光刻照明模组和掩模投影光学模组，光刻照明模组、掩模版、掩模投影光学模组及基片沿光路依次设置，掩模投影光学模组为反向成像模组，投影光斑为掩模版的照明光斑的放大、倒立的实像。整个系统通过多光学头并列放置的空间布局和光学投影成像尺寸的匹配，各个光学头可以并行扫描曝光，解决单个光学头视场有限的问题，原理上幅面不受限制，且本发明光路实施可行性高，可利用若干小尺寸掩模版拼接光刻实现大尺寸完整图形，易于加工实现，且降低生产应用成本。
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公开(公告)号：CN118052902A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202211422070.7
申请日：2022-11-14
Applicant: 江苏维格新材料科技有限公司 , 苏州大学
Abstract: 本申请涉及凹版印刷技术领域，具体公开一种数据处理方法、光刻处理系统及可读存储介质。方法包括对预设的立体模型进行高度方向上的数据压缩处理，得到位于二维平面的矢量线条数据；生成透光模板集T＝{T1，T2,…，TN}，获取立体模型表面在各采样点位置处的法向量，并根据各采样点的法向量与二维平面的夹角，确定各采样点的透光级；根据各采样点的透光级与各透光模板的对应关系，确定各采样点对应的透光模板；叠加矢量线条数据与各采样点对应的透光模板，得到光刻数据。由于线条之间填充有不同疏密度的透光网点，因此可以在体现3D景深的变化的同时，实现透光率的渐变效果，体现出立体模型的光影变化，立体效果的表达方式更多元，更能体现真实立体感。
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公开(公告)号：CN116190465A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202111418131.8
申请日：2021-11-26
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 , 苏州大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/06 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种太阳能电池及其制备方法。所述太阳能电池包括：太阳能电池模组；贴附于所述太阳能电池模组的一侧表面上的电极薄膜，所述电极薄膜包括：透明基层、透明压印层和形成于所述透明压印层内或所述透明压印层一侧表面的导电材料层，所述导电材料层与所述太阳能电池模组电性连接以形成所述太阳能电池模组的电极；其中，所述电极薄膜和所述太阳能电池模组通过层压贴合。这样得到的太阳能电池具备高透过率，光电转换效率高，同时该制备方法，可方便的进行批量生产，成本低。
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