公开(公告)号：CN204330809U

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201420837962.8

申请日：2014-12-19

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  中国电子科技集团公司第四十九研究所

Inventor： 杨恒 ,  周伟 ,  李昕欣 ,  吴紫峰 ,  田雷 ,  海涛 ,  金建东 ,  刘智辉

IPC: G01P15/12

Abstract: 本实用新型提供一种压阻式加速度传感器，该传感器的改进点在于敏感结构部分，敏感结构中的质量块左右两侧对称设有相互独立的各四个敏感梁，每个敏感梁上设一个力敏电阻；四个敏感梁的两侧各设一个用于支撑质量块的支撑梁，将力敏电阻制作在独立的敏感梁上可减小敏感梁的宽度，从而显著减小敏感梁对结构倔强系数的影响，获得高灵敏度和高优值；敏感梁靠近质量块中线位置，其挠曲较小，可减小旁轴灵敏度。支撑梁靠近质量块边缘，其力臂长，可更好地抑制旁轴加速度引起的质量块扭转。支撑梁上表面较低，表面无氧化层，可减小氧化层应力引起的结构挠曲。敏感梁厚度大于支撑梁，可实现应力集中，从而提高灵敏度和优值。