公开(公告)号：CN104603968B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201280074524.4

申请日：2012-08-28

Applicant: SNU精度株式会社

Inventor： 柳云善 ,  南宫晟泰 ,  李泰成 ,  高在亿

IPC: H01L51/56 ,  H05B33/04

CPC classification number: H05B33/04 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明涉及一种有机发光二极管封装工艺用沉积装置，本发明的有机发光二极管封装工艺用沉积装置，对配置在腔室部内的有机发光二极管基板沉积原料而进行封装(encapsulating)，其特征在于，包括：多个流动部，配置在所述腔室部内，内部形成有供原料流动的流动通道，所述多个流动部的端面彼此相接；喷嘴部，一体安装于所述多个流动部，在所述喷嘴部的内部形成有与所述流动部连接的喷射通道，用于将从所述流动部供给的原料喷射到基板侧；以及原料供给部，向所述多个流动部分别供给气化的原料。由此，提供一种能够在无间断区段的情况下，以均匀的厚度对大面积基板沉积原料的有机发光二极管封装工艺用沉积装置。

公开(公告)号：CN104603968A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201280074524.4

申请日：2012-08-28

Applicant: SNU精度株式会社

Inventor： 柳云善 ,  南宫晟泰 ,  李泰成 ,  高在亿

IPC: H01L51/56 ,  H05B33/04

CPC classification number: H05B33/04 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明涉及一种有机发光二极管封装工艺用沉积装置，本发明的有机发光二极管封装工艺用沉积装置，对配置在腔室部内的有机发光二极管基板沉积原料而进行封装(encapsulating)，其特征在于，包括：多个流动部，配置在所述腔室部内，内部形成有供原料流动的流动通道，所述多个流动部的端面彼此相接；喷嘴部，一体安装于所述多个流动部，在所述喷嘴部的内部形成有与所述流动部连接的喷射通道，用于将从所述流动部供给的原料喷射到基板侧；以及原料供给部，向所述多个流动部分别供给气化的原料。由此，提供一种能够在无间断区段的情况下，以均匀的厚度对大面积基板沉积原料的有机发光二极管封装工艺用沉积装置。