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公开(公告)号:CN100524587C
公开(公告)日:2009-08-05
申请号:CN200310103675.0
申请日:2003-11-03
Applicant: NTN株式会社
IPC: H01J9/50
CPC classification number: Y02W30/828
Abstract: 本发明涉及一种平面基板的微细图形缺陷修正装置,具有:修补膏充填机构(50)、膏剂烧固机构(60)、机械切削整形机构(70)、垂直方向移动机构(80),以及使搭载有上述机构的头部和平面基板向与平面基板平行的平面方向相对移动、并进行定位的水平方向定位机构(40),搭载在头部上的各机构与垂直方向移动机构联动,垂直方向移动机构包含切入基准构件,机械切削整形机构包含微细图形上面规定剖面过剩材料加工工具,与微细图形上面接触的微细图形上面规定剖面过剩材料加工工具的推压力由多个微细图形上面分散地阻挡。通过对各机构合理有效地组合进行缺陷修正,能进行质量稳定的缺陷修正并提高微细图形的修正效率。
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公开(公告)号:CN108713097A
公开(公告)日:2018-10-26
申请号:CN201780013224.8
申请日:2017-02-01
Applicant: NTN株式会社
Abstract: 一种水力发电装置,包括水力发电模块、支承部以及棒体(5a、5b)。水力发电模块具有旋转叶片(1)以及发电机(3),该发电机(3)通过旋转叶片的旋转(1)而发电。支承部对水力发电模块进行支承。支承部能够安装于水通道。棒体(5a、5b)连接至支承部以从支承部突出。通过将棒体(5a、5b)的靠近支承部的一端部或是支承部的一部分作为中心,棒体(5a、5b)的与上述棒体(5a、5b)的一端部相反的另一端部能够枢转,以将第一状态切换至第二状态,反之亦然。在第一状态下,水力发电模块的旋转叶片(1)位于水通道的水面的下方。在第二状态下,水力发电模块的旋转叶片(1)位于水通道的水面的上方。
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公开(公告)号:CN108700017A
公开(公告)日:2018-10-23
申请号:CN201780011590.X
申请日:2017-01-23
Applicant: NTN株式会社
CPC classification number: F03B17/063 , F03B17/061 , F05B2240/90 , F05B2260/301 , Y02E10/22 , Y02E10/223 , Y02E10/226 , Y02E10/28
Abstract: 一种水力发电装置,包括水力发电模块、作为支承部的梁(4a)以及固定部。水力发电模块具有旋转叶片(1)以及发电机(3),该发电机(3)通过旋转叶片的旋转(1)而发电。支承部对水力发电模块进行支承。固定部将支承部固定至水通道。固定部具有螺栓(5a),该螺栓(5a)按压水通道的壁部(8)表面以将支承部固定至水通道。水力发电装置能够无需围绕水通道进行的作业以进行安装,并且也能够简单且廉价地进行重新定位。
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公开(公告)号:CN108713097B
公开(公告)日:2020-12-08
申请号:CN201780013224.8
申请日:2017-02-01
Applicant: NTN株式会社
Abstract: 一种水力发电装置,包括水力发电模块、支承部以及棒体(5a、5b)。水力发电模块具有旋转叶片(1)以及发电机(3),该发电机(3)通过旋转叶片的旋转(1)而发电。支承部对水力发电模块进行支承。支承部能够安装于水通道。棒体(5a、5b)连接至支承部以从支承部突出。通过将棒体(5a、5b)的靠近支承部的一端部或是支承部的一部分作为中心,棒体(5a、5b)的与上述棒体(5a、5b)的一端部相反的另一端部能够枢转,以将第一状态切换至第二状态,反之亦然。在第一状态下,水力发电模块的旋转叶片(1)位于水通道的水面的下方。在第二状态下,水力发电模块的旋转叶片(1)位于水通道的水面的上方。
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公开(公告)号:CN1523631A
公开(公告)日:2004-08-25
申请号:CN200310103675.0
申请日:2003-11-03
Applicant: NTN株式会社
IPC: H01J9/50
CPC classification number: Y02W30/828
Abstract: 本发明,是在设有微细图形(凸肋)的平面基板上的缺陷部中充填修补膏剂并烧固、对多余的溢出膏剂、附着在凸肋附着缺陷部的多余的凸肋成形材料等的凸肋规定剖面溢出材料进行整形加工的缺陷修正方法和装置,其具有修补膏充填机构(50)、膏剂烧固机构(60)、机械切削整形机构(70)、向与所述平面基板垂直的方向移动的垂直方向移动机构(80)、搭载所述充填机构、所述膏剂烧固机构和所述切削整形机构的头部、和向与所述平面基板平行的平面方向相对地移动的水平方向定位机构(40),搭载在头部上的各机构与所述垂直方向移动机构联动。通过对各机构合理、有效地组合进行缺陷修正,能进行质量稳定的缺陷修正、并提高微细图形的修正效率。
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