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公开(公告)号:CN101454872A
公开(公告)日:2009-06-10
申请号:CN200780019163.2
申请日:2007-05-25
Applicant: LG化学株式会社
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/425
Abstract: 本发明涉及一种光刻胶剥离剂组合物。在剥离工艺和剥离光刻剂的已知步骤中,该光刻胶剥离剂组合物能够在短时间内在低温下彻底剥离由于过度的光刻工艺造成的变性的光刻胶膜,即使仅通过水而非异丙醇作为中间冲洗溶液进行冲洗也不破坏光刻胶下部的导电膜或绝缘膜,并且其对光刻胶下部的导电金属膜或绝缘膜具有极佳的缓蚀能力。
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公开(公告)号:CN101454872B
公开(公告)日:2011-04-06
申请号:CN200780019163.2
申请日:2007-05-25
Applicant: LG化学株式会社
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/425
Abstract: 本发明涉及一种光刻胶剥离剂组合物、用该光刻胶剥离剂组合物剥离光刻胶的方法以及制备液晶显示器或半导体器件的方法。在剥离工艺和剥离光刻剂的已知步骤中,该光刻胶剥离剂组合物能够在短时间内在低温下彻底剥离由于过度的光刻工艺造成的变性的光刻胶膜,即使仅通过水而非异丙醇作为中间冲洗溶液进行冲洗也不破坏光刻胶下部的导电膜或绝缘膜,并且其对光刻胶下部的导电金属膜或绝缘膜具有极佳的缓蚀能力。
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公开(公告)号:CN101137933A
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN200680007900.2
申请日:2006-03-07
Applicant: LG化学株式会社
IPC: G02F1/136
CPC classification number: G02F1/1368 , G02F2001/13629 , G02F2001/136295 , H01L27/124 , H01L27/1292 , H01L29/458 , H01L29/4908 , H01L29/66765
Abstract: 本发明披露了一种由在铜布线或铜电极表面上涂敷的银薄层保护的铜布线或铜电极,以及一种制造该铜布线或铜电极的方法。本发明也披露了一种液晶显示器件以及一种制造该液晶显示器件的方法。在基板上形成铜布线或铜电极后,在该铜布线或铜电极的表面上涂敷银薄层,从而使银薄层保护铜。因此,所述铜对氧化反应或其它不需要的反应具有优异的耐性,从而提高了所述铜布线或铜电极的性能。
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