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公开(公告)号:CN101336309B
公开(公告)日:2011-06-08
申请号:CN200680051913.X
申请日:2006-12-28
Applicant: LG化学株式会社
IPC: C23C18/54
CPC classification number: C23C18/1834 , C23C18/34 , C23C18/50 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明提供一种钴基合金化学镀液,其包含钴前驱体、钨前驱体、磷前驱体、还原剂、络合剂、pH调节剂和稳定剂,其中所述还原剂为二甲胺硼烷(DMAB)或氢硼化物,并且所述稳定剂为选自由咪唑、噻唑、三唑、二硫化物以及它们的衍生物组成的组中的一种或多种化合物;以及使用所述钴基合金化学镀液的化学镀法,和通过该法制备的薄膜。根据本发明,所述钴基合金镀液对于长期重复使用足够稳定,且通过抑制沉淀生成避免金属薄膜质量的劣化。本发明进一步提供使用所述钴基合金化学镀液的化学镀法,和通过该法制备的钴基合金薄膜。
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公开(公告)号:CN101421311A
公开(公告)日:2009-04-29
申请号:CN200780013235.2
申请日:2007-04-12
Applicant: LG化学株式会社
Abstract: 本发明披露了一种树脂组合物,其含有用于化学镀以形成电磁波屏蔽层的催化剂前体。所述树脂组合物含有有机聚合物树脂、具有乙烯化不饱和键的多官能单体、光敏引发剂、作为催化剂前体的银有机络合物前体以及有机溶剂。本发明进一步披露使用所述树脂组合物形成金属图案的方法以及通过该方法形成的金属图案。所述方法包括形成图案、还原所述图案并对所述还原的图案进行化学镀。使用所述树脂组合物形成的催化剂的图案层为高粘性,基本上可以防止湿法加工过程中催化剂的损失,以及镀速的提高使得在化学镀之后形成均匀、精细的金属图案。包括所述金属图案的电磁波屏蔽材料适合在形成用于屏蔽电磁波的膜中使用。
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公开(公告)号:CN101336309A
公开(公告)日:2008-12-31
申请号:CN200680051913.X
申请日:2006-12-28
Applicant: LG化学株式会社
IPC: C23C18/54
CPC classification number: C23C18/1834 , C23C18/34 , C23C18/50 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明提供一种钴基合金化学镀液,其包含钴前驱体、钨前驱体、磷前驱体、还原剂、络合剂、pH调节剂和稳定剂,其中所述还原剂为二甲胺硼烷(DMAB)或氢硼化物,并且所述稳定剂为选自由咪唑、噻唑、三唑、二硫化物以及它们的衍生物组成的组中的一种或多种化合物;以及使用所述钴基合金化学镀液的化学镀法,和通过该法制备的薄膜。根据本发明,所述钴基合金镀液对于长期重复使用足够稳定,且通过抑制沉淀生成避免金属薄膜质量的劣化。本发明进一步提供使用所述钴基合金化学镀液的化学镀法,和通过该法制备的钴基合金薄膜。
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公开(公告)号:CN101421311B
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN200780013235.2
申请日:2007-04-12
Applicant: LG化学株式会社
Abstract: 本发明披露了一种树脂组合物,其含有用于化学镀以形成电磁波屏蔽层的催化剂前体。所述树脂组合物含有有机聚合物树脂、具有乙烯化不饱和键的多官能单体、光敏引发剂、作为催化剂前体的银有机络合物前体以及有机溶剂。本发明进一步披露使用所述树脂组合物形成金属图案的方法以及通过该方法形成的金属图案。所述方法包括形成图案、还原所述图案并对所述还原的图案进行化学镀。使用所述树脂组合物形成的催化剂的图案层为高粘性,基本上可以防止湿法加工过程中催化剂的损失,以及镀速的提高使得在化学镀之后形成均匀、精细的金属图案。包括所述金属图案的电磁波屏蔽材料适合在形成用于屏蔽电磁波的膜中使用。
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