公开(公告)号：CN102477252A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201010570585.2

申请日：2010-11-29

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 稻见甫 ,  杉本雅信 ,  篠原宣康

IPC: C09D175/16 ,  C09D133/14 ,  C09D7/12 ,  B32B27/08

Abstract: 本发明涉及硬涂层形成用层积膜、卷膜和硬涂层形成用固化性组合物。提供一种粘性低、耐磨损性优异的硬涂层形成用层积膜。所述硬涂层形成用层积膜是在塑料膜的至少一面直接或介由其他层形成有硬涂层形成层的层积膜，其特征在于，将硬涂层形成层的全体设为100质量％时，所述硬涂层形成层含有：10～90质量％(A)分子内具有烯键式不饱和基团、用凝胶渗透色谱测定的重均分子量为3,000～200,000、且玻璃化转变温度为30℃以上的化合物；5～80质量％(B)具有烯键式不饱和基团的二氧化硅颗粒；和0.1～10质量％(C)光聚合引发剂。

公开(公告)号：CN119768738A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202380061790.1

申请日：2023-09-25

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 根本龙一 ,  宫尾健介 ,  稻见甫 ,  大冢昇

IPC: G03F7/004 ,  C09K3/00 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物、图案形成方法及感放射线性酸产生剂，能够形成一种即便在形成高纵横比的抗蚀剂图案时也可以充分的水平发挥感度或LWR性能、DOF性能、图案矩形性、CDU性能、图案圆形性的抗蚀剂膜。一种感放射线性树脂组合物，包含：鎓盐化合物(1)，由下述式(1)表示；鎓盐化合物(2)，与所述鎓盐化合物(1)不同；树脂，包含具有酸解离性基的结构单元；以及溶剂。(式(1)中，W为碳数1～40的一价链状有机基、碳数5以下的一价环状有机基或将碳数1～40的一价链状有机基与碳数5以下的环状结构组合而成的一价基。R1及R2分别独立地为氢原子、氟原子、一价烃基或一价氟化烃基。在R1及R2存在多个的情况下，多个R1及R2分别相同或不同。R3、R4及R5分别独立地为氟原子或一价氟化烃基。m1为1～8的整数。Z+为一价感放射线性鎓阳离子。)#imgabs0#

公开(公告)号：CN102604505A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201210007260.2

申请日：2012-01-11

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 杉本雅信 ,  沢田克敏 ,  稻见甫 ,  篠原宣康

IPC: C09D147/00 ,  C09D175/14 ,  G02B1/04 ,  G02B5/22 ,  B32B37/15

Abstract: 本发明提供固化性组合物、光学树脂和光学树脂层的制造方法以及图像显示装置。本发明提供在具备前面板和图像显示部的图像显示装置中被夹持在所述前面板与所述图像显示部之间，能提高可见性和耐冲击性并具备非流动性的光学树脂。本发明的光学树脂的特征在于，使如下光学树脂用组合物固化而成，所述组合物含有(A)具有2个以上(甲基)丙烯酰基且数均分子量为1000以上的化合物、上述数均分子量除以每1分子的(甲基)丙烯酰基的个数而得的值为500以上，(B)不具有(甲基)丙烯酰基且用B型粘度计测得的25℃下的粘度为0.1Pa·s～20Pa·s、数均分子量为500～20000的化合物，和(C)光聚合引发剂；相对于上述(B)化合物100质量份含有上述(A)化合物5～50质量份。

公开(公告)号：CN119768740A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202380061793.5

申请日：2023-09-25

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 根本龙一 ,  宫尾健介 ,  稻见甫 ,  大冢昇

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  C09K3/00

Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物、图案形成方法及感放射线性酸产生剂，其中，能够形成即便在形成高纵横比的抗蚀剂图案时也可以充分的水平发挥感度或LWR性能、DOF性能、图案矩形性、CDU性能、图案圆形性的抗蚀剂膜。一种感放射线性树脂组合物，包括：鎓盐化合物，由下述式(1)表示；树脂，包含下述式(2)所表示的结构单元(I)；以及溶剂。(式(1)中，R1、R2及R3分别独立地为碳数1～10的一价有机基，或者表示包含R1、R2及R3中的两个或三个相互结合并与这些所键结的碳原子一起构成的碳数3～20的环状结构的一价或二价的基。在R1、R2及R3中的两个构成所述环状结构的情况下，剩余的一个为碳数1～10的一价有机基。R4及R5分别独立地为氢原子、氟原子、一价烃基或一价氟化烃基。在R4及R5存在多个的情况下，多个R4及R5分别相同或不同。R6、R7及R8分别独立地为氟原子或一价氟化烃基。m1为0～8的整数。Z+为一价感放射线性鎓阳离子。)(式(2)中，R9为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基。R10为包含选自由内酯结构、环状碳酸酯结构及磺内酯结构所组成的群组中的至少一种结构的一价基。)#imgabs0#

公开(公告)号：CN119768739A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202380061791.6

申请日：2023-09-25

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 根本龙一 ,  宫尾健介 ,  稻见甫 ,  大冢昇

IPC: G03F7/004 ,  C09K3/00 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物、图案形成方法及感放射线性酸产生剂，其中，即便在形成高纵横比的抗蚀剂图案时，也能够形成可以充分的水平发挥感度或LWR性能、DOF性能、图案矩形性、CDU性能、图案圆形性的抗蚀剂膜。一种感放射线性树脂组合物，包括：鎓盐化合物，由下述式(1)表示；树脂，包含具有酸解离性基的结构单元；以及溶剂。(式(1)中，R1、R2及R3分别独立地为碳数1～10的一价链状有机基。R4、R5及R6分别独立地为氢原子、氟原子、一价烃基或一价氟化烃基。在R4、R5及R6存在多个的情况下，多个R4、R5及R6分别相同或不同。Rf1为氟原子或一价氟化烃基。在Rf1存在多个的情况下，多个Rf1分别相同或不同。m1为0～8的整数。m2为1～4的整数。Z+为一价感放射线性鎓阳离子。)#imgabs0#