公开(公告)号：CN119173815A

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN202380039412.3

申请日：2023-07-25

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 根本龙一 ,  三宅正之 ,  三田伦广 ,  宫尾健介 ,  冈崎聪司

IPC: G03F7/004 ,  C07C381/12 ,  C09K3/00 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20

Abstract: 一种感放射线性组合物，含有：具有酸解离性基的聚合物、以及式(1)所表示的化合物。L1为具有(硫)缩醛环的基等。W1为单键或碳数1～40的(b+1)价的有机基。R1、R2及R3相互独立地为氢原子、碳数1～10的烃基、氟原子或氟烷基。Rf为氟原子或氟烷基。a为0～8的整数。b为1～4的整数。d为1或2。于a为2以上的情况下，多个R1相同或不同，多个R2相同或不同。于d为2的情况下，多个W1相同或不同，多个b相同或不同。M+为一价阳离子。#imgabs0#