公开(公告)号：CN103560067A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201310194422.2

申请日：2013-05-23

Applicant: FEI公司

Inventor： B.布伊塞

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及供电子显微镜中使用的相位板，更具体来说涉及泽尔尼克类型相位板。这种相位板包括中心孔以及引起经过所述膜的电子的相移的薄膜。这个相移使CTF从正弦状函数改变成余弦状函数。这个现有技术类型相位板的一个缺点在于，许多电子通过相位板从射束散射。这个现有技术相位板的另一个缺点在于，对于其中余弦状函数呈现最小数的频率范围，相位板的使用实际上使CTF降级，因为正弦状函数呈现最大数。因此，按照本发明的相位板配备有采取由薄得多的膜(30)所承载的环带(32)形式的膜。因此，仅在小空间频率范围(对于低频率)，改变相位(并且因此改变CTF)，以及对于其它空间频率，相移是可忽略的，并且因而CTF300保持不变。由于承载膜30的小得多的厚度，散射也是可忽略的。

公开(公告)号：CN102299037B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201110172913.8

申请日：2011-06-24

Applicant: FEI公司

Inventor： B.布伊塞 ,  P.C.蒂梅杰

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/223 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/2802

Abstract: 在TEM的衍射平面中使用的阻挡部件。本发明涉及将被放置在TEM的衍射平面中的阻挡部件。其类似于用于单边带成像的刀边缘，但是仅阻挡在小角度内偏转的电子。结果，根据本发明的TEM的对比度传递函数将与低频下的单边带显微镜的对比度传递函数和用于高频率的正常显微镜的对比度传递函数相等。优选地，被阻挡部件阻挡的最高频率使得没有阻挡部件的显微镜将显示出0.5的CTF。

公开(公告)号：CN102299037A

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN201110172913.8

申请日：2011-06-24

Applicant: FEI公司

Inventor： B.布伊塞 ,  P.C.蒂梅杰

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/223 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/2802

Abstract: 在TEM的衍射平面中使用的阻挡部件。本发明涉及将被放置在TEM的衍射平面中的阻挡部件。其类似于用于单边带成像的刀边缘，但是仅阻挡在小角度内偏转的电子。结果，根据本发明的TEM的对比度传递函数将与低频下的单边带显微镜的对比度传递函数和用于高频率的正常显微镜的对比度传递函数相等。优选地，被阻挡部件阻挡的最高频率使得没有阻挡部件的显微镜将显示出0.5的CTF。