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实用新型
基板传送装置及基板清洗装置有权

公开(公告)号：CN213591336U

公开(公告)日：2021-07-02

申请号：CN202021728245.3

申请日：2020-08-18

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 石川智章 , 松谷将树

IPC: B08B11/04 , B08B1/04 , B08B3/02 , B08B13/00 , B65G49/06 , B65G13/00 , B65G39/06

Abstract: 一种基板传送装置及基板清洗装置，基板传送装置(10)具备传送部(11)，该传送部(11)具有相互向反方向旋转的下侧辊(13)及上侧辊(15)，利用下侧辊(13)和上侧辊(15)夹持玻璃板(G)而进行传送，其中，下侧辊(13)在与玻璃板(G)的传送方向(X)正交的宽度方向上在比所述基板的尺寸长的范围上具有树脂制的表层部(26)，表层部(26)与玻璃板(G)的下表面的所述宽度方向的整个范围抵接，上侧辊(15)具有轴(31)和设置在轴(31)的两端附近的橡胶制的弹性环(33)，弹性环(33)与玻璃板(G)的上表面的宽度方向的两缘部附近部位抵接。

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