公开(公告)号：CN113340948A

公开(公告)日：2021-09-03

申请号：CN202110642013.9

申请日：2021-06-09

Applicant: 重庆大学

Inventor： 邱景 ,  黄焱燚 ,  唐孝生 ,  何邕 ,  梁承垚

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明涉及一种基于卤化钙钛矿微晶的高响应湿度传感器制备方法及其产品，属于半导体传感器制备技术领域。本发明提供了一种基于卤化钙钛矿微晶的高响应湿度传感器制备方法，主要采用油胺钝化的Cs3Cu2Br5钙钛矿微晶或辛胺钝化的Cs3Cu2Br5钙钛矿微晶涂覆在叉指电极上形成传感器，制备得到的传感器具有响应性高且检测稳定性好的特点。本发明采用的制备方法中采用的敏感材料无毒性，制备过程中通过表面钝化技术对材料敏感性能进行改善；同时制备过程中操作简单、制备成本低廉、适合工业化生产。

公开(公告)号：CN112255272A

公开(公告)日：2021-01-22

申请号：CN202010960012.4

申请日：2020-09-14

Applicant: 重庆大学

Inventor： 何邕 ,  杜炳生 ,  梁承垚 ,  孙霞 ,  郭学政 ,  邝德琳 ,  伍志林

IPC: G01N27/00

Abstract: 本发明提供了一种气体传感器及其制备方法，其中，所述气体传感器包括叉指电极，所述气体传感器在叉指电极上覆有拓扑绝缘体薄膜；所述叉指电极的叉指宽度为100±5μm，其叉指的间隔距离为80±5μm；所述拓扑绝缘体包括硒化铋，碲化铋和碲化锑；所述覆盖在叉指电极上拓扑绝缘体薄膜的厚度为10μm‑100μm。拓扑绝缘体在其体相中显示出绝缘行为，而其表面上存在稳定的，受拓扑保护的金属态。高的表面导电性在可表现出低的信号噪声，并且能够在室温对气体进行灵敏检测。此外，当拓扑绝缘体被适当的催化金属层覆盖时，拓扑表面可作为一种有效的电子池，增强各种气体分子的吸附。这些性质使拓扑绝缘体在气敏领域表现出巨大的应用潜力。