用于提高MEMS装置可靠性的系统和方法

    公开(公告)号:CN102730620A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201210107782.X

    申请日:2012-04-05

    CPC classification number: G01R33/3657 H01H1/0036 H01H9/54

    Abstract: 本发明涉及用于提高MEMS装置可靠性的系统和方法。一种微机电系统(MEMS)装置,其在一个实施例中包括采用背对背配置互相耦合的至少两个MEMS开关。对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二悬置元件电耦合。此外,配置对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二触点使得第二悬置元件和第二触点之间的差分电压近似等于第一悬置元件和第一触点之间的差分电压。该MEMS装置包括至少一个致动器,其耦合于第一和第二悬置元件中的一个或多个来致动第一和第二悬置元件中的一个或多个。在一个示例中,该MEMS装置包括一个或多个无源元件,其耦合于第一和第二MEMS开关中的一个或多个。

    用于提高MEMS装置可靠性的系统和方法

    公开(公告)号:CN102730620B

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201210107782.X

    申请日:2012-04-05

    CPC classification number: G01R33/3657 H01H1/0036 H01H9/54

    Abstract: 本发明涉及用于提高MEMS装置可靠性的系统和方法。一种微机电系统(MEMS)装置,其在一个实施例中包括采用背对背配置互相耦合的至少两个MEMS开关。对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二悬置元件电耦合。此外,配置对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二触点使得第二悬置元件和第二触点之间的差分电压近似等于第一悬置元件和第一触点之间的差分电压。该MEMS装置包括至少一个致动器,其耦合于第一和第二悬置元件中的一个或多个来致动第一和第二悬置元件中的一个或多个。在一个示例中,该MEMS装置包括一个或多个无源元件,其耦合于第一和第二MEMS开关中的一个或多个。

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