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公开(公告)号：CN116276642A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310287310.5
申请日：2023-03-22
Applicant: 西南交通大学
IPC: B24B41/06
Abstract: 本发明属于夹具技术领域，具体涉及一种双轨道自定位夹爪卡盘，轨道盘在所述轨道盘的上表面设置有三个径向滑槽；套筒罩设于轨道盘的上方；所述第一轨道槽呈倾斜于套筒的周向和径向；三个夹爪均设置于所述套筒的上方，各个夹爪的柄部分别穿过对应第一轨道槽并与对应的滑块相连；套筒相对于轨道盘转动时，三个夹爪在第一轨道槽的导向作用下，相互聚拢或相互散开；多个定位开关设置于套筒上方且高于夹爪，且通过分别的立柱与轨道盘相连。本方案在夹爪卡盘上加装定位开关，其能够在实现夹取定位的同时，还能够在晶圆在夹取或松开时，防止轨道盘在摩擦力作用下移动，而导致夹取或松开动作的失效；通过两个轨道来对夹爪位置进行控制实现夹紧并定心，具有结构简单、夹持稳定性高的特点。
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