公开(公告)号：CN112331737B

公开(公告)日：2022-05-03

申请号：CN202011197948.2

申请日：2020-10-30

Applicant: 苏州大学

Inventor： 吴绍龙 ,  周禄为 ,  张程 ,  李孝峰 ,  李刘晶

IPC: H01L31/102 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明属光电领域，公开了一种紫外‑可见‑近红外硅基光电探测器及其制备方法，所述的光电探测器为复合层式结构，沿着光入射方向依次包括透明保护层、粘结剂、正面金属薄膜层、无序纳米碗阵列化硅基底、背面金属薄膜层和底板。正面金属薄膜和无序纳米碗阵列层的复合结构可以显著抑制200～2500nm波段范围内的光反射，硅基底背面的金属薄膜近乎完全反射到达硅基底界面的光子，使得器件整体的透射率接近零。利用无序纳米碗阵列化硅基底及沉积于上的金属薄膜对入射光子的高效吸收和光生载流子的有效收集，本方案可以在室温、无外加偏压下对紫外‑可见‑近红外波段的光子实现显著光电响应和有效探测，且对光子的偏振和入射角度不敏感。

公开(公告)号：CN112331737A

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN202011197948.2

申请日：2020-10-30

Applicant: 苏州大学

Inventor： 吴绍龙 ,  周禄为 ,  张程 ,  李孝峰 ,  李刘晶

IPC: H01L31/102 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明属光电领域，公开了一种紫外‑可见‑近红外硅基光电探测器及其制备方法，所述的光电探测器为复合层式结构，沿着光入射方向依次包括透明保护层、粘结剂、正面金属薄膜层、无序纳米碗阵列化硅基底、背面金属薄膜层和底板。正面金属薄膜和无序纳米碗阵列层的复合结构可以显著抑制200～2500nm波段范围内的光反射，硅基底背面的金属薄膜近乎完全反射到达硅基底界面的光子，使得器件整体的透射率接近零。利用无序纳米碗阵列化硅基底及沉积于上的金属薄膜对入射光子的高效吸收和光生载流子的有效收集，本方案可以在室温、无外加偏压下对紫外‑可见‑近红外波段的光子实现显著光电响应和有效探测，且对光子的偏振和入射角度不敏感。