公开(公告)号：CN101048442B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN200580037346.8

申请日：2005-07-27

Applicant: 索尼化学&信息部件株式会社

Inventor： 长谷川匡俊 ,  石井淳一

IPC: C08G73/10 ,  G03F7/023 ,  G03F7/037

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G73/00 ,  C08G73/10

Abstract: 本发明提供具有低线性热膨胀系数的聚(酰亚胺-甲亚胺)共聚物及其制造方法、作为其前体的聚(酰胺酸-甲亚胺)共聚物和含有该共聚物和感光剂的正型感光性组合物、由该组合物得到聚(酰亚胺-甲亚胺)共聚物的微细图案的微细图案的制造方法。聚(酰亚胺-甲亚胺)共聚物包括式(1)的甲亚胺聚合单元和式(2)的酰亚胺聚合单元，正型感光性树脂组合物的主要成分即聚(酰胺酸-甲亚胺)包括式(1)的甲亚胺聚合单元和式(3)的酰胺酸聚合单元。在式(1)～式(3)中，A和D分别表示二价的芳族基或者脂族基，B表示四价的芳族基或者脂族基。(在式(1)和式(2)中，A和D分别表示二价的芳族基或者脂族基，B表示四价的芳族基或者脂族基)。

公开(公告)号：CN101048442A

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN200580037346.8

申请日：2005-07-27

Applicant: 索尼化学&信息部件株式会社

Inventor： 长谷川匡俊 ,  石井淳一

IPC: C08G73/10 ,  G03F7/023 ,  G03F7/037

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G73/00 ,  C08G73/10

Abstract: 本发明提供具有低线性热膨胀系数的聚(酰亚胺－甲亚胺)共聚物及其制造方法、作为其前体的聚(酰胺酸－甲亚胺)共聚物和含有该共聚物和感光剂的正型感光性组合物、由该组合物得到聚(酰亚胺－甲亚胺)共聚物的微细图案的微细图案的制造方法。聚(酰亚胺－甲亚胺)共聚物包括式(1)的甲亚胺聚合单元和式(2)的酰亚胺聚合单元，正型感光性树脂组合物的主要成分即聚(酰胺酸－甲亚胺)包括式(1)的甲亚胺聚合单元和式(3)的酰胺酸聚合单元。在式(1)～式(3)中，A和D分别表示二价的芳族基或者脂族基，B表示四价的芳族基或者脂族基。(在式(1)和式(2)中，A和D分别表示二价的芳族基或者脂族基，B表示四价的芳族基或者脂族基)。