公开(公告)号：CN101858729A

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN201010139913.3

申请日：2010-03-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 花冈英孝 ,  北林厚史

IPC: G01B11/00 ,  H01L51/56

CPC classification number: G01B11/00 ,  H01L27/3246 ,  H01L51/0005 ,  H01L51/5234 ,  H01L2227/323

Abstract: 本发明涉及液滴吐出量测定方法和有机EL装置的制造方法。提供无论溶剂是否蒸发、固体成分的浓度如何，都能够以高精度测量从液滴吐出装置吐出的液滴量的液滴吐出量测定方法，以及利用了该液滴吐出量测定方法的有机EL装置的制造方法。测定从导入了含有固体成分和溶剂的功能液的喷墨方式的液滴吐出装置(2)吐出的功能液的液滴M的量时，吐出功能液的液滴M并使之着落于检测面(11)上之后，使溶剂从液滴M中蒸发而形成固态点D。此时，随着溶剂从液滴M中蒸发，使液滴M堆积收缩，而使固态点D的面积小于液滴M的着落面积。然后，对固态点D进行图像识别来测定固态点D的体积。