公开(公告)号：CN100351609C

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN200410046166.3

申请日：2004-06-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 川内修 ,  渡边康治

IPC: G01C19/56 ,  H01L41/22 ,  H03H3/02

CPC classification number: G01C19/5607 ,  Y10T74/12 ,  Y10T74/1275

Abstract: 一种压电振动陀螺元件及其制造方法。在从连接臂(24a、24b)的前端部沿着其延伸方向进一步延伸的延长部(27a、27b)的侧面上，在两侧设置与驱动用振动臂(26a、26b)的延伸方向垂直的方向的平面部(28a、28b)。形成在厚度方向横断延长部的前端面并连接在连接臂前端部和延长部的正反主面之间的布线(42)，使驱动用振动臂的正反主面的第1驱动电极(35、35)构成相互电连接。在进行电极分割的曝光工序中，对延长部的平面部，在垂直方向并且从与驱动用振动臂的主面垂直的方向倾斜某种角度的上方同时对主面和侧面进行曝光。由此，可在确保振动臂的弯曲振动的对称性的基础上，进行简单且正确的电极分割。

公开(公告)号：CN1573290A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN200410046166.3

申请日：2004-06-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 川内修 ,  渡边康治

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5607 ,  Y10T74/12 ,  Y10T74/1275

Abstract: 一种压电振动陀螺元件及其制造方法。在从连接臂(24a、24b)的前端部沿着其延伸方向进一步延伸的延长部(27a、27b)的侧面上，在两侧设置与驱动用振动臂(26a、26b)的延伸方向垂直的方向的平面部(28a、28b)。形成在厚度方向横断延长部的前端面并连接在连接臂前端部和延长部的正反主面之间的布线(42)，使驱动用振动臂的正反主面的第1驱动电极(35、35)构成相互电连接。在进行电极分割的曝光工序中，对延长部的平面部，在垂直方向并且从与驱动用振动臂的主面垂直的方向倾斜某种角度的上方同时对主面和侧面进行曝光。由此，可在确保振动臂的弯曲振动的对称性的基础上，进行简单且正确的电极分割。