公开(公告)号：CN111715501A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010192790.3

申请日：2020-03-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小岛力 ,  大泽荣治 ,  大桥幸司 ,  清濑摄内 ,  狭山朋裕 ,  铃木博则 ,  今井克浩 ,  松本泰幸 ,  上条隆弘

IPC: B06B1/06 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明涉及微机电系统器件及电子设备。在接合第一部件及第二部件并将用于连通设置于第一部件及第二部件之间的密封空间与外部空间的连通部设置于第二部件时，第一部件和第二部件有可能破损。为此，微机电系统器件具备：第一部件；第二部件，在与所述第一部件之间形成密封空间；以及第三部件，配置于所述第一部件与所述第二部件之间，并接合于所述第一部件及所述第二部件，所述第三部件比所述第一部件及所述第二部件的刚度小，所述第三部件设有连通所述密封空间与外部空间的连通部。

公开(公告)号：CN108666413A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810233500.8

申请日：2018-03-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大桥幸司 ,  上条隆弘 ,  今井克浩 ,  山冈卓实 ,  小岛力

IPC: H01L41/083

Abstract: 本发明涉及一种压电元件、压电器件、超声波探针和电子设备。在压电元件中第一电极层、压电体层和第二电极层依次层叠，并具备：第三电极层，层叠在上述第二电极层的一部分并且含有第三金属；和绝缘层，至少覆盖上述压电体层的未设有上述第二电极层的部分并且具有使上述第二电极层的一部分露出的开口部，在上述第二电极层中含有第一金属的第一层和含有第二金属的第二层依次层叠，在上述开口部露出上述第二层，上述第二金属和上述第三金属之间的标准氧化还原电位之差小于上述第一金属和上述第三金属之间的标准氧化还原电位之差。