公开(公告)号：CN105510400B

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201510856298.0

申请日：2015-11-30

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 吴双红 ,  周寒 ,  孙铭徽 ,  魏雄邦 ,  李世彬 ,  陈志

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明涉及新能源敏感材料，具体涉及一种基于碳纳米管和钯复合薄膜的氢气传感器，从内向外依次包括P型硅基底(4)、碳纳米管(3)、金属钯薄膜(2)和两个金属电极(1)，其中所述碳纳米管(3)的排布方式为分纵向和横向均匀排布，所述两金属电极(1)均为条形且相互对称的设置在金属钯薄膜(2)上表面。本发明采用的纹碳纳米管可以有效的改善金属钯膜的吸氢性能，减少氢气传感器的响应时间、提高氢气传感器的响应度；同时，器件的选择性也得到保证；此外，本发明可以在室温条件下工作；并且，器件制备工艺简单，易于大规模生产。

公开(公告)号：CN107024507A

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201710254065.2

申请日：2017-04-18

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 吴双红 ,  毛盛 ,  周寒 ,  杨俊杰 ,  魏雄邦 ,  陈志

IPC: G01N27/00 ,  G01N27/12 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C25D11/10 ,  C25D11/12

CPC classification number: G01N27/00 ,  C23C14/083 ,  C23C14/35 ,  C25D11/10 ,  C25D11/12 ,  G01N27/127

Abstract: 本发明公开了一种氧化钛和钯多孔复合薄膜的氢气传感器。一种氧化钛和钯多孔复合薄膜的氢气传感器，从下往上依次包括阳极氧化铝4、多孔氧化钛薄膜3、多孔金属钯薄膜2和两个金属电极1，其中所述两金属电极1均为条形且相互对称的设置在多孔金属钯薄膜2上表面。本发明采用的氧化钛多孔薄膜可以有效的改善金属钯膜的吸氢性能，减少氢气传感器的响应时间、提高氢气传感器的响应度；氧化钛薄膜层使得器件的选择性也得到保证；此外，本发明可以在室温条件下工作；并且，器件制备工艺简单，易于大规模生产。

公开(公告)号：CN105510400A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201510856298.0

申请日：2015-11-30

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 吴双红 ,  周寒 ,  孙铭徽 ,  魏雄邦 ,  李世彬 ,  陈志

IPC: G01N27/12

CPC classification number: G01N27/12 ,  G01N27/125

Abstract: 本发明涉及新能源敏感材料，具体涉及一种基于碳纳米管和钯复合薄膜的氢气传感器，从内向外依次包括P型硅基底(4)、碳纳米管(3)、金属钯薄膜(2)和两个金属电极(1)，其中所述碳纳米管(3)的排布方式为分纵向和横向均匀排布，所述两金属电极(1)均为条形且相互对称的设置在金属钯薄膜(2)上表面。本发明采用的纹碳纳米管可以有效的改善金属钯膜的吸氢性能，减少氢气传感器的响应时间、提高氢气传感器的响应度；同时，器件的选择性也得到保证；此外，本发明可以在室温条件下工作；并且，器件制备工艺简单，易于大规模生产。