氮化硅粉末及其制造方法、以及氮化硅烧结体及其制造方法

    公开(公告)号:CN117120397A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202280021892.6

    申请日:2022-03-17

    Abstract: 本发明提供氮化硅粉末,其中,氟的含量为600质量ppm以下,并且碳的含量为0.1质量%以下,氮化硅粉末的α化率为80%以上。本发明提供氮化硅粉末的制造方法,其具有:填充工序,将包含硅粉末、且氟化物相对硅粉末100质量份而言的含量为1质量份以下的原料粉末以堆积密度成为0.7g/cm3以上、并且原料粉末的填充高度成为15~80mm的方式填充于容器;烧成工序,在包含氮气的气氛中对填充于容器的原料粉末进行烧成,得到包含氮化硅的烧成物;和粉碎工序,对烧成物进行粉碎。

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