沟槽栅极IGBT
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108231865B

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN201711263226.0

    申请日:2017-12-05

    Abstract: 本公开涉及沟槽栅极IGBT。提供了一种高性能的沟槽栅极IGBT。根据一个实施例的沟槽栅极IGBT包括:半导体衬底(11);设置在半导体衬底(11)上的沟道层(15);设置在沟道层(15)两侧的两个浮置P型层(12),浮置P型层(12)比沟道层(15)深;设置在两个浮置P型层(12)之间的两个发射极沟槽(13),发射极沟槽(13)分别与浮置P型层(12)接触;设置在两个发射极沟槽(13)之间的至少两个栅极沟槽(14);和设置在两个栅极沟槽14之间的源极扩散层(19),源极扩散层(19)与栅极沟槽(14)中的每一个接触。

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