公开(公告)号：CN107849685B

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201680041485.6

申请日：2016-06-21

Applicant: 爱信精机株式会社

Inventor： 水谷和挥 ,  片山幸祐

IPC: C23C14/24

Abstract: 立式蒸镀装置具备：保持部，其保持基材；丝型加热器，其由通过通电而发热的线状的发热体构成，具有通过将线状的发热体折弯而形成为能够收纳蒸镀材料的收纳部，配设为使收纳部相对于被保持于保持部的基材沿水平方向分离规定的距离而设置；以及反射板，其在从被保持于保持部的基材观察时配设在被收纳于收纳部的蒸镀材料的后方，并且构成为从丝型加热器向该反射板传递热量。

公开(公告)号：CN107849685A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680041485.6

申请日：2016-06-21

Applicant: 爱信精机株式会社

Inventor： 水谷和挥 ,  片山幸祐

IPC: C23C14/24

Abstract: 立式蒸镀装置具备：保持部，其保持基材；丝型加热器，其由通过通电而发热的线状的发热体构成，具有通过将线状的发热体折弯而形成为能够收纳蒸镀材料的收纳部，配设为使收纳部相对于被保持于保持部的基材沿水平方向分离规定的距离而设置；以及反射板，其在从被保持于保持部的基材观察时配设在被收纳于收纳部的蒸镀材料的后方，并且构成为从丝型加热器向该反射板传递热量。

公开(公告)号：CN106471149A

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201580033934.8

申请日：2015-09-24

Applicant: 爱信精机株式会社

Inventor： 原崇志 ,  片山幸祐

IPC: C23C14/14 ,  B05D5/06 ,  B32B15/01 ,  C23C14/24 ,  B60R11/02 ,  E05B49/00 ,  E05B85/16

CPC classification number: C23C14/14 ,  B05D5/067 ,  B05D7/02 ,  B05D7/54 ,  B32B15/01 ,  B60R11/02 ,  C23C14/20 ,  C23C14/24 ,  C23C14/541 ,  E05B15/16 ,  E05B17/0004 ,  E05B81/77 ,  E05B85/16 ,  H01Q1/3241 ,  H01Q1/3283

Abstract: 本发明提供一种具有高的电波透射性和电绝缘性，且在不怎么增加制造成本和材料成本的情况下具有色调接近青色的铟层的金属调被膜及其制造方法。本发明所涉及的金属调被膜具备成膜于基材表面上的铟层。构成该铟层的铟粒子的平均面积为20000nm2以下。此外，本发明所涉及的金属调被膜的制造方法包括通过使铟蒸镀于基材表面而将铟层成膜在基材表面的铟成膜工序。在该铟成膜工序中，在将基材表面的温度加热至50℃以上的状态下，使铟蒸镀于基材表面。