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公开(公告)号:CN1080394A
公开(公告)日:1994-01-05
申请号:CN93105072.3
申请日:1993-05-20
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种球冠形栅网参数测量方法及测量仪,属光学测量仪器,该测量方法可测量球冠形栅网的参数及网间距离,采用光学物镜对双(多)栅网多次调焦,记录每次成象清晰后的物镜位置数值,两个位置数值之差即为该两个栅网之间的间距。本栅网参数测量仪由精密机械系统、光学系统、步进电机及其驱动系统、光栅定位测量系统、信号获取系统五部分组成。通过计算机软件处理可以自动调焦并打印输出测得的栅网参数值,本栅网参数测量仪测得的精度高,可以提高行波管的性能。