公开(公告)号：CN114879295A

公开(公告)日：2022-08-09

申请号：CN202210722777.3

申请日：2022-06-24

Applicant: 清华大学

Inventor： 王健健 ,  冯平法 ,  张华文 ,  余金辉 ,  张建富 ,  吴志军 ,  郁鼎文

IPC: G02B5/18

Abstract: 本申请涉及一种二维光栅加工方法与二维光栅。二维光栅加工方法包括如下步骤：将压头置于待加工件的上方；使所述待加工件沿水平第一方向以第一轨迹移动，并使所述压头在平行于所述水平第一方向的竖直平面内以第二轨迹运动，所述第二轨迹呈封闭形状，所述第一轨迹与所述第二轨迹叠加得到所述压头相对于所述待加工件运动的相对轨迹；所述相对轨迹包括使所述压头逐渐压入所述待加工件的压入段、使所述压头逐渐脱离所述待加工件的脱出段，以及使所述压头在所述水平第一方向上相邻的两个加工位置之间切换的悬空段，其中，所述压入段与所述脱出段呈基本竖直状。该二维光栅加工方法能够提高加工效率，缩短加工时间。

公开(公告)号：CN114879295B

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202210722777.3

申请日：2022-06-24

Applicant: 清华大学

Inventor： 王健健 ,  冯平法 ,  张华文 ,  余金辉 ,  张建富 ,  吴志军 ,  郁鼎文

IPC: G02B5/18

Abstract: 本申请涉及一种二维光栅加工方法与二维光栅。二维光栅加工方法包括如下步骤：将压头置于待加工件的上方；使所述待加工件沿水平第一方向以第一轨迹移动，并使所述压头在平行于所述水平第一方向的竖直平面内以第二轨迹运动，所述第二轨迹呈封闭形状，所述第一轨迹与所述第二轨迹叠加得到所述压头相对于所述待加工件运动的相对轨迹；所述相对轨迹包括使所述压头逐渐压入所述待加工件的压入段、使所述压头逐渐脱离所述待加工件的脱出段，以及使所述压头在所述水平第一方向上相邻的两个加工位置之间切换的悬空段，其中，所述压入段与所述脱出段呈基本竖直状。该二维光栅加工方法能够提高加工效率，缩短加工时间。