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公开(公告)号：CN110243290B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN201910265406.5
申请日：2019-04-03
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 通过光学干涉方法实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台，三自由度纳米定位平台包括上传动平板和下静平板，上动平板和下静平板之间有三个传动组件，三个传动组件呈120°均匀地分布在通过三个传动组件的圆周上，压电陶瓷驱动器的顶部连接下球形顶头，下球形顶头的半球形顶头嵌入上传动平板的圆弧形凹槽内，上传动平板安装在上动平板的圆槽内，弹簧平行于压电陶瓷驱动器呈120°均匀地分布在上动平板和下静平板的弹簧支架上。还包括实时读取微动倾斜平台位移角度信息的测量装置，激光器的输出激光以45度角对准反射装置的反射面垂直透射进劈尖干涉装置，劈尖干涉装置连接被测物体，待测物体放置在三自由度纳米定位平台上面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110243290A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910265406.5
申请日：2019-04-03
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 通过光学干涉方法实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台，三自由度纳米定位平台包括上传动平板和下静平板，上动平板和下静平板之间有三个传动组件，三个传动组件呈120°均匀地分布在通过三个传动组件的圆周上，压电陶瓷驱动器的顶部连接下球形顶头，下球形顶头的半球形顶头嵌入上传动平板的圆弧形凹槽内，上传动平板安装在上动平板的圆槽内，弹簧平行于压电陶瓷驱动器呈120°均匀地分布在上动平板和下静平板的弹簧支架上。还包括实时读取微动倾斜平台位移角度信息的测量装置，激光器的输出激光以45度角对准反射装置的反射面垂直透射进劈尖干涉装置，劈尖干涉装置连接被测物体，待测物体放置在三自由度纳米定位平台上面。
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公开(公告)号：CN109579708A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811583217.4
申请日：2018-12-24
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于光学劈尖干涉的纳米分辨率位移测量装置，包括为测量装置提供稳定的单色相干光源的激光器，激光器的输出激光以45度角对准分光装置的分光面，输出激光经的分光装置分成位于分光面两侧的第一光路和第二光路，第一光路与第二光路均垂直于的输出激光，第一光路对准劈尖干涉装置的玻璃劈尖；劈尖干涉装置的玻璃劈尖连接被测物体，待测物体放置在一个通过电压的变化来控制位移量的变化的位移平台上，位移平台连接稳压电源；第一光路的激光通过劈尖干涉装置在玻璃劈尖的上表面会形成干涉条纹，接着将干涉图像通过分光装置、第二光路传送至光学成像系统从而获得完整的激光干涉图像；光学成像系统的输出端连接数据处理系统。
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公开(公告)号：CN110246537A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910265390.8
申请日：2019-04-03
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G12B3/00
Abstract: 一种可用于高精度的定位平台传动机构，包括上传动平板和下静平板，上传动平板和下静平板之间设有三个传动组件，三个传动组件均布在通过三传动组件的圆上；每个传动组件包括设置垂直地在下静压板上的压电陶瓷驱动器，压电陶瓷驱动器的顶部连接小支柜，小支柜上设有下球形顶头，下球形顶头纳入上圆弧凹槽传动平板底面上的圆弧凹槽内，下球形顶头与所述的圆弧凹槽的顶部相切，下球形顶头与所述的圆弧凹槽在剖面上的圆心的连线垂直于下静压板；上圆弧凹槽传动平板的上部连接上传动平板，弹簧平行于压电陶瓷驱动器地设置在上传动平板和下静平板的弹簧支架上。本发明增加了机构的定位精度，通过不同数量不同方位的组合使用可以实现任意自由度。
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公开(公告)号：CN210108265U
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201920448327.3
申请日：2019-04-03
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台，三自由度纳米定位平台包括上传动平板和下静平板，上动平板和下静平板之间有三个传动组件，三个传动组件呈120°均匀地分布在通过三个传动组件的圆周上，压电陶瓷驱动器的顶部连接下球形顶头，下球形顶头的半球形顶头嵌入上圆弧凹槽传动平板的圆弧形凹槽内；上圆弧凹槽传动平板安装在上动平板的圆槽内，弹簧平行于压电陶瓷驱动器呈120°均匀地分布在上动平板和下静平板的弹簧支架上。还包括实时读取微动倾斜平台位移角度信息的测量装置，激光器的输出激光以45度角对准反射装置的反射面垂直透射进劈尖干涉装置，劈尖干涉装置连接被测物体，待测物体放置在三自由度纳米定位平台上面。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209559128U
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201822174002.9
申请日：2018-12-24
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于光学劈尖干涉的纳米分辨率位移测量装置，包括为测量装置提供稳定的单色相干光源的激光器，激光器的输出激光以45度角对准分光装置的分光面，输出激光经的分光装置分成位于分光面两侧的第一光路和第二光路，第一光路与第二光路均垂直于的输出激光，第一光路对准劈尖干涉装置的玻璃劈尖；劈尖干涉装置的玻璃劈尖连接被测物体，待测物体放置在一个通过电压的变化来控制位移量的变化的位移平台上，位移平台连接稳压电源；第一光路的激光通过劈尖干涉装置在玻璃劈尖的上表面会形成干涉条纹，接着将干涉图像通过分光装置、第二光路传送至光学成像系统从而获得完整的激光干涉图像；光学成像系统的输出端连接数据处理系统。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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