公开(公告)号：CN1296770C

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN200310120468.6

申请日：2003-10-30

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 保坂将毅 ,  川俣大雅

IPC: G03F7/00 ,  B01D19/04 ,  B01F17/00

Abstract: 本发明提供在使用显影液的光敏抗蚀剂的显影工序中，对显影液的发泡消泡性优良且在显影液中产生的浮渣的分散性也优良的抗蚀剂显影液用消泡分散剂。一种光敏抗蚀剂显影液用消泡分散剂，其特征在于，含有相对于碳数15以上的高级脂肪酸100质量份，碳数6～14的中级脂肪酸的比率是5～300质量份的混合脂肪酸和脂族三元醇反应的部分脂肪酸酯。

公开(公告)号：CN1973027B

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN200580021016.X

申请日：2005-06-06

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 圖師丈裕 ,  深井忠広 ,  川俣大雅

IPC: C11D10/02 ,  C11D1/835 ,  C11D1/94 ,  C11D3/20 ,  C11D3/39 ,  A61M1/14

CPC classification number: C11D1/94 ,  A61M1/169 ,  C11D1/835 ,  C11D3/2079 ,  C11D3/3945 ,  C11D3/3947

Abstract: 有机无机复合污垢清洁剂，其特征在于，由含有过氧化氢、乙酸、过乙酸、非离子型表面活性剂以及阳离子和/或两性表面活性剂的水溶液构成，可以提供具有杀菌性，特别是有机污垢形成生物膜时，可以单独地、良好地去除该生物膜与碳酸钙和磷酸钙等无机污垢的复合污垢的有机无机复合污垢清洁剂。

公开(公告)号：CN1973027A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200580021016.X

申请日：2005-06-06

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 圖師丈裕 ,  深井忠広 ,  川俣大雅

IPC: C11D10/02 ,  C11D1/835 ,  C11D1/94 ,  C11D3/20 ,  C11D3/39 ,  A61M1/14

CPC classification number: C11D1/94 ,  A61M1/169 ,  C11D1/835 ,  C11D3/2079 ,  C11D3/3945 ,  C11D3/3947

Abstract: 有机无机复合污垢清洁剂，其特征在于，由含有过氧化氢、乙酸、过乙酸、非离子型表面活性剂以及阳离子和/或两性表面活性剂的水溶液构成，可以提供具有杀菌性，特别是有机污垢形成生物膜时，可以单独地、良好地去除该生物膜与碳酸钙和磷酸钙等无机污垢的复合污垢的有机无机复合污垢清洁剂。