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公开(公告)号：CN102477539A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201110178712.9
申请日：2011-06-29
Applicant: 株式会社钢臂功科研
CPC classification number: C23C14/3414 , G02F1/13439 , G06F3/041 , G06F2203/04103
Abstract: 本发明提供一种Al基合金溅射靶，其可以提高作为电阻率低、耐热性优良的布线材料被广泛使用的Al-Nd/La合金的耐碱腐蚀性。本发明的溅射靶由含有0.1～3原子％的Nd和/或La的Al基合金构成，Al基合金中所含的Fe量被控制在Nd和/或La的合计量的1/76以下。
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