公开(公告)号：CN100498340C

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN200710084384.X

申请日：2007-02-28

Applicant: 株式会社电装 ,  株式会社日本自动车部品综合研究所

Inventor： 胜间田卓 ,  伊藤岳志 ,  樋口祐史 ,  荻野睦人 ,  森岛哲矢

IPC: G01P3/44 ,  G01P3/483 ,  G01P15/125 ,  H01L21/60

Abstract: 一种角速度传感器包括第一和第二振动子(3，4)，所述振动子具有可动部分(31，34，35，36，38，41，44，45，46，48)和固定部分(30，37，40，47)，所述可动部分具有驱动用和检测用可动电极(31，38，41，48)，所述固定部分具有第一侧和第二侧驱动用和检测用固定电极。施加到所述第一振动子(3)中的第一侧驱动用固定电极(30)的驱动电压是包括直流电压和交流电压的第一驱动电压。施加到所述第一振动子(3)中的第二侧驱动用固定电极(30)的驱动电压是包括直流电压和交流电压的第二驱动电压。第一和第二驱动电压中的至少一个直流电压、至少一个交流电压或者至少一个占空比被控制，以便使所述第一振动子(3)与第二振动子(4)相反地振动。

公开(公告)号：CN101029899A

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200710084384.X

申请日：2007-02-28

Applicant: 株式会社电装 ,  株式会社日本自动车部品综合研究所

Inventor： 胜间田卓 ,  伊藤岳志 ,  樋口祐史 ,  荻野睦人 ,  森岛哲矢

IPC: G01P3/44 ,  G01P3/483 ,  G01P15/125 ,  H01L21/60

Abstract: 一种角速度传感器包括第一和第二振动子(3，4)，所述振动子具有可动部分(31，34，35，36，38，41，44，45，46，48)和固定部分(30，37，40，47)，所述可动部分具有驱动用和检测用可动电极(31，38，41，48)，所述固定部分具有第一侧和第二侧驱动用和检测用固定电极。施加到所述第一振动子(3)中的第一侧驱动用固定电极(30)的驱动电压是包括直流电压和交流电压的第一驱动电压。施加到所述第一振动子(3)中的第二侧驱动用固定电极(30)的驱动电压是包括直流电压和交流电压的第二驱动电压。第一和第二驱动电压中的至少一个直流电压、至少一个交流电压或者至少一个占空比被控制，以便使所述第一振动子(3)与第二振动子(4)相反地振动。