热动式流量传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1752721A

    公开(公告)日:2006-03-29

    申请号:CN200510099424.9

    申请日:2005-08-31

    CPC classification number: G01F1/6845

    Abstract: 在一种热动式流量传感器中,模制材料(50)被成型以一体地覆盖预定范围,以使流量检测芯片的一部分暴露于测量流体,其中该预定范围包括电路芯片(20)、流量检测芯片(10)和电路芯片(20)与连接线(60)的连接部分、和以及电路芯片和导线部分(30)与连接线(61)的连接部分。流量检测芯片位于支承元件的槽部(41)中,以与槽部形成一个间隙(42)并在检测芯片(10)的薄壁部分(12)中形成腔部。该腔部通过包括间隙(42)的连通部分而与外部相通,且间隙(42)至少在位于预定范围内的部分处被填料(44)堵塞。因此,填料(44)可防止模制材料在模制成型时进入间隙。

    热动式流量传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1752721B

    公开(公告)日:2010-05-05

    申请号:CN200510099424.9

    申请日:2005-08-31

    CPC classification number: G01F1/6845

    Abstract: 在一种热动式流量传感器中,模制材料(50)被成型以一体地覆盖预定范围,以使流量检测芯片的一部分暴露于测量流体,其中该预定范围包括电路芯片(20)、流量检测芯片(10)和电路芯片(20)与连接线(60)的连接部分、和以及电路芯片和导线部分(30)与连接线(61)的连接部分。流量检测芯片位于支承元件的槽部(41)中,以与槽部形成一个间隙(42)并在检测芯片(10)的薄壁部分(12)中形成腔部。该腔部通过包括间隙(42)的连通部分而与外部相通,且间隙(42)至少在位于预定范围内的部分处被填料(44)堵塞。因此,填料(44)可防止模制材料在模制成型时进入间隙。

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