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公开(公告)号：CN107710377B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201580081062.2
申请日：2015-06-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明涉及在具有带电粒子光学镜筒(2)、第一试样设置部(419)和隔膜(10)的带电粒子线装置中调整隔膜和试样的距离的方法，所述隔膜(10)用于将配置试样(6)的空间从所述带电粒子光学镜筒(2)内部隔离。调整中，使用具有第二试样设置部(400)的光学式装置(402)以及是能够在所述第一试样设置部和所述第二试样设置部共通地设置的形状的高度调整构件(403)。在光学式装置(402)内使用高度调整构件(403)来再现试样(6)与隔膜(10)的位置关系。并且，调整带电粒子显微镜装置的带有Z轴驱动机构的试样台(410)的高度以使试样(6)的表面位于光学式装置(402)的焦点位置。然后，将带有Z轴驱动机构的试样台(410)配置于带电粒子显微镜装置，进行观察。由此，能够安全且简便地调整隔膜与试样的距离。
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公开(公告)号：CN107710377A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201580081062.2
申请日：2015-06-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明涉及在具有带电粒子光学镜筒(2)、第一试样设置部(419)和隔膜(10)的带电粒子线装置中调整隔膜和试样的距离的方法，所述隔膜(10)用于将配置试样(6)的空间从所述带电粒子光学镜筒(2)内部隔离。调整中，使用具有第二试样设置部(400)的光学式装置(402)以及是能够在所述第一试样设置部和所述第二试样设置部共通地设置的形状的高度调整构件(403)。在光学式装置(402)内使用高度调整构件(403)来再现试样(6)与隔膜(10)的位置关系。并且，调整带电粒子显微镜装置的带有Z轴驱动机构的试样台(410)的高度以使试样(6)的表面位于光学式装置(402)的焦点位置。然后，将带有Z轴驱动机构的试样台(410)配置于带电粒子显微镜装置，进行观察。由此，能够安全且简便地调整隔膜与试样的距离。
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