公开(公告)号：CN103175845B

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201210380170.8

申请日：2012-10-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 横山润 ,  深江崇行 ,  田近英之

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明公开一种能够减小激光产生的热量对主面的影响的缺陷检测方法，包括：定义工序，其中在被检查物的比主面的面积小的侧面上定义多个照射位置，并定义与该多个照射位置分别对应的多个接收位置；接收工序，其中对在所述定义工序中定义的全部所述多个照射位置，进行向所述照射位置照射激光并在与该照射位置对应的所述接收位置接收超声波的工序；以及检测工序，其中基于在所述接收工序中接收到的超声波来检测所述被检查物的缺陷，所述定义工序中，以利用将所述照射位置和与该照射位置对应的所述接收位置分别连结的多条直线在从所述主面侧观察下形成多个交点的方式，定义所述多个照射位置和所述多个接收位置，所述检测工序中，检测所述多个交点的各自的位置上的缺陷。

公开(公告)号：CN103175845A

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201210380170.8

申请日：2012-10-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 横山润 ,  深江崇行 ,  田近英之

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明公开一种能够减小激光产生的热量对主面的影响的缺陷检测方法，包括：定义工序，其中在被检查物的比主面的面积小的侧面上定义多个照射位置，并定义与该多个照射位置分别对应的多个接收位置；接收工序，其中对在所述定义工序中定义的全部所述多个照射位置，进行向所述照射位置照射激光并在与该照射位置对应的所述接收位置接收超声波的工序；以及检测工序，其中基于在所述接收工序中接收到的超声波来检测所述被检查物的缺陷，所述定义工序中，以利用将所述照射位置和与该照射位置对应的所述接收位置分别连结的多条直线在从所述主面侧观察下形成多个交点的方式，定义所述多个照射位置和所述多个接收位置，所述检测工序中，检测所述多个交点的各自的位置上的缺陷。