检漏装置和检漏方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118549052A

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202410185121.1

    申请日:2024-02-19

    Abstract: 本发明提供检漏装置和检漏方法,对具有借助第一中间构件(7)与外部空间分隔开并且借助第二中间构件(2、3)相互分隔开的第一流路、第二流路的产品的泄漏状态进行检查的检漏装置(200)具备:气体供给部(210、241‑2243),其以第一压力向第一流路供给检查气体,以比第一压力低的第二压力向第二流路供给检查气体;测定部(251‑253),其测定来自各流路的流出流量;以及计算机(300)。计算机执行根据供给后的第一期间的流量判定有无从各流路向外部空间的泄漏的第一判定步骤和根据第一期间后的第二期间的流量判定有无从第一流路向第二流路的泄漏的第二判定步骤。在各判定步骤中,当判定为有泄漏时,判定为各中间构件(7、2、3)存在缺陷,另一方面,当判定为没有泄漏时,判定为各中间构件没有缺陷。

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