公开(公告)号：CN114859579A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202210491356.4

申请日：2022-05-07

Applicant: 暨南大学

Inventor： 万磊 ,  周文丰 ,  温美逊 ,  江建滔 ,  罗杨

IPC: G02F1/125 ,  G02F1/11 ,  G02F1/00 ,  G02B6/136 ,  G02B6/13 ,  G03F7/20 ,  G03F7/32 ,  G03F7/38

Abstract: 本发明公开了一种新型推挽式高效宽带声光调制器及其制备方法，所述声光调制器包括基片以及设置在基片上的铌酸锂‑硫系玻璃异质层和铌酸锂薄膜上的叉指换能器；铌酸锂‑硫系玻璃异质层包括铌酸锂薄膜以及铌酸锂薄膜上异质集成的硫系光波导；铌酸锂薄膜上设置的叉指换能器包括若干个叉指电极，叉指换能器采用聚焦型叉指换能器或长度不等的双电极叉指换能器。本发明使用聚焦型叉指换能器激发汇聚型声表面波，充分利用声波能量，提高光波导折射率的改变量；或使用长度不等的双电极叉指换能器，有效消除电极反射问题，提高微波工作带宽；上述声光调制器具有调制效率高、制作容易、带宽大、速度高、易实现片上大规模集成的特点。