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公开(公告)号：CN109715834A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201780056493.2
申请日：2017-09-15
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种金属掩模用原材料，其氧化物系非金属夹杂物微细，个数也非常少，能够呈现优异的蚀刻加工性。一种金属掩模用原材料及其制造方法，所述金属掩模用原材料具有以质量％计，含有C：0.01％以下、Si：0.5％以下、Mn：1.0％以下、Ni：30％～50％，剩余部分为Fe及不可避免的杂质的组成，其中，所述金属掩模用原材料每1g中，直径超过10.0μm的氧化物系非金属夹杂物为2.0个以下，直径为6.0μm～10.0μm的氧化物系非金属夹杂物的个数为20.0个以下，并且所述金属掩模用原材料为板厚0.25mm以下的薄板形状。
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公开(公告)号：CN110785502A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201880040332.9
申请日：2018-06-20
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种金属掩模用薄板及其制造方法，关于所述金属掩模用薄板，厚度为1.0mm以下，在抑制翘曲的同时平坦度也良好，并且即使宽幅化处理性也良好。一种金属掩模用薄板的制造方法及金属掩模用薄板，所述金属掩模用薄板的制造方法的特征在于具备：精密冷轧工序，对冷轧用原材料，实施压下率5％～50％的精密冷轧而制成薄板，所述冷轧用原材料以质量％计，含有C：≦0.01％、Si：≦0.5％、Mn：≦1.0％、Ni+Co：28％～52％(其中，Co为0％～20％)，剩余部分包括Fe及不可避免的杂质；形状矫正工序，对所述精密冷轧后的薄板进行伸长率为0.25％～0.6％的形状矫正；以及最终热处理工序，对所述形状矫正后的薄板进行热处理，以使薄板的维氏硬度为0.85n～0.97n(n＝形状矫正后的薄板的维氏硬度)，所述金属掩模用薄板的厚度为1.0mm以下。
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公开(公告)号：CN109715834B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201780056493.2
申请日：2017-09-15
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种金属掩模用原材料，其氧化物系非金属夹杂物微细，个数也非常少，能够呈现优异的蚀刻加工性。一种金属掩模用原材料及其制造方法，所述金属掩模用原材料具有以质量％计，含有C：0.01％以下、Si：0.5％以下、Mn：1.0％以下、Ni：30％～50％，剩余部分为Fe及不可避免的杂质的组成，其中，所述金属掩模用原材料每1g中，直径超过10.0μm的氧化物系非金属夹杂物为2.0个以下，直径为6.0μm～10.0μm的氧化物系非金属夹杂物的个数为20.0个以下，并且所述金属掩模用原材料为板厚0.25mm以下的薄板形状。
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公开(公告)号：CN109642289B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201780052358.0
申请日：2017-08-31
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种抑制蚀刻后的形状变化，并且具有更良好的蚀刻性的金属掩模用原材料及其制造方法。一种金属掩模用原材料，轧制方向上的表面粗糙度及与轧制方向正交的方向上的表面粗糙度均为0.05μm≤Ra≤0.25μm，Rz≤1.5μm，偏度Rsk不足0，自所述金属掩模用原材料切取长度150mm、宽度30mm的试样，对所述试样从单侧进行蚀刻，除去所述试样的板厚的60％时的翘曲量为15mm以下，板厚为0.01mm以上且不足0.10mm。
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公开(公告)号：CN110352101A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201880014823.6
申请日：2018-03-01
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种Fe-Ni系合金薄板及其制造方法，其能够以少量的切边量来获得良好的平坦度。Fe-Ni系合金薄板的制造方法的特征在于包括：中间冷轧步骤，对使用Fe-Ni系合金热轧材料的冷轧用原材料实施冷轧，来制作厚度为0.4mm以下的中间冷轧原材料；精密冷轧步骤，将所述中间冷轧原材料进行冷轧而形成厚度为0.2mm以下的薄板；以及形状矫正步骤，对所述薄板进行形状矫正；并且在所述精密冷轧步骤中，使用包括中间辊横移机构的多级轧压机，将中间辊端部与中间冷轧原材料端部之间的平行距离即中间辊横移量调整为0mm～+9mm来进行冷轧，在所述形状矫正步骤中，进行伸长率为0.3～0.7的形状矫正。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109642289A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201780052358.0
申请日：2017-08-31
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种抑制蚀刻后的形状变化，并且具有更良好的蚀刻性的金属掩模用原材料及其制造方法。一种金属掩模用原材料，轧制方向上的表面粗糙度及与轧制方向正交的方向上的表面粗糙度均为0.05μm≤Ra≤0.25μm，Rz≤1.5μm以下，偏度Rsk不足0，自所述金属掩模用原材料切取长度150mm、宽度30mm的试样，对所述试样从单侧进行蚀刻，除去所述试样的板厚的60％时的翘曲量为15mm以下，板厚为0.01mm以上且不足0.10mm。
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公开(公告)号：CN109641248B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201780052365.0
申请日：2017-08-31
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种抑制蚀刻后的形状变化，并且在获得良好的抗蚀剂密接性及蚀刻加工性方面较佳的金属掩模用原材料及其制造方法。一种金属掩模用原材料，轧制方向上的表面粗糙度及与轧制方向正交的方向上的表面粗糙度均为0.05μm≤Ra≤0.25μm，Rz≤1.5μm，所述金属掩模用原材料中，与轧制方向正交的方向上的偏度Rsk为0以上，自所述金属掩模用原材料切取长度150mm、宽度30mm的试样，对所述试样从单侧进行蚀刻，除去所述试样的板厚的60％时的翘曲量为15mm以下，板厚为0.10mm以上且0.5mm以下。
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公开(公告)号：CN110352101B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201880014823.6
申请日：2018-03-01
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种Fe‑Ni系合金薄板及其制造方法，其能够以少量的切边量来获得良好的平坦度。Fe‑Ni系合金薄板的制造方法包括：中间冷轧步骤，对使用Fe‑Ni系合金热轧材料的冷轧用原材料实施冷轧，来制作厚度为0.4mm以下的中间冷轧原材料；精密冷轧步骤，将所述中间冷轧原材料进行冷轧而形成厚度为0.2mm以下的薄板；以及形状矫正步骤，对所述薄板进行形状矫正；并且在所述精密冷轧步骤中，使用包括中间辊横移机构的多级轧压机，将中间辊端部与中间冷轧原材料端部之间的平行距离即中间辊横移量调整为0mm～+9mm来进行冷轧，在所述形状矫正步骤中，进行伸长率为0.3～0.7的形状矫正。
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公开(公告)号：CN109804093A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201780060482.1
申请日：2017-08-22
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 提供即使宽幅化也能够具备各向同性的机械特性的Fe-Ni系合金薄板及其制造方法。一种Fe-Ni系合金薄板的制造方法和Fe-Ni系合金薄板，其特征在于，使用以质量％计Ni+Co：35.0～43.0％(其中，Co为0～6.0％)、Si：0.5％以下、Mn：1.0％以下、余量为Fe和杂质、且厚度为2mm以上的热轧材制成冷轧用坯料，对前述冷轧用坯料进行压下率85％以上的第1冷轧，在前述第1冷轧之后，以温度800℃以上、保持时间0.1～1.2分钟的条件进行再结晶退火，在前述再结晶退火之后，进行压下率40％以下的最终冷轧，制成厚度为0.25mm以下的Fe-Ni系合金薄板，最终冷轧后不进行热处理。
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公开(公告)号：CN109641248A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201780052365.0
申请日：2017-08-31
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种抑制蚀刻后的形状变化，并且在获得良好的抗蚀剂密接性及蚀刻加工性方面较佳的金属掩模用原材料及其制造方法。一种金属掩模用原材料，轧制方向上的表面粗糙度及与轧制方向正交的方向上的表面粗糙度均为0.05μm≤Ra≤0.25μm，Rz≤1.5μm以下，所述金属掩模用原材料中，与轧制方向正交的方向上的偏度Rsk为0以上，自所述金属掩模用原材料切取长度150mm、宽度30mm的试样，对所述试样从单侧进行蚀刻，除去所述试样的板厚的60％时的翘曲量为15mm以下，板厚为0.10mm以上且0.5mm以下。
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