防护膜框架和防护膜组件

    公开(公告)号:CN109416504B

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN201780042217.0

    申请日:2017-06-30

    Abstract: 本发明提供:一种能够有效抑制因贴附防护膜组件(1)而引起的曝光原版(8)的变形、且不具有复杂形状的防护膜框架(2);和使用了该防护膜框架的防护膜组件。一种防护膜框架,其特征在于:在铝合金制框架的表面具有阳极氧化膜,该铝合金制框架由铝合金构成,该铝合金含有5.0~10.0质量%的Ca且剩余部分为铝和不可避免的杂质,该铝合金中作为分散相的Al4Ca相的面积(体积)率为25%以上,Al4Ca相的一部分的晶体结构是单斜晶,并且,阳极氧化膜具有Al4Ca颗粒。

    铝合金塑性加工材料及其制造方法

    公开(公告)号:CN109477169B

    公开(公告)日:2021-03-26

    申请号:CN201780043200.7

    申请日:2017-06-30

    Abstract: 本发明提供一种低杨氏模量且屈服强度也优异的铝合金塑性加工材料及其有效的制造方法。本发明所涉及的铝合金塑性加工材料含有5.0~10.0wt%的Ca,剩余部分由铝和不可避免的杂质构成,具有以体积率计为25%以上的作为分散相的Al4Ca相。另外,Al4Ca相由四方晶的Al4Ca相和单斜晶的Al4Ca相构成,利用X射线衍射测定得到的四方晶所产生的最大衍射峰(I1)与单斜晶所产生的最大衍射峰(I2)的强度比(I1/I2)为1以下。

    光罩护膜框及其制造方法

    公开(公告)号:CN105659163B

    公开(公告)日:2020-02-07

    申请号:CN201380080439.3

    申请日:2013-10-23

    Abstract: 本发明提供在能够防止雾产生的同时、聚光灯下的表面闪烁缺陷得到减少的光罩护膜框及其制造方法。本发明为光罩护膜框以及光罩护膜框的制造方法,其中光罩护膜框是由铝或铝合金形成的铝框材的表面上具有阳极氧化皮膜的光罩护膜框,阳极氧化皮膜包括使用碱性阳极氧化浴形成的皮膜和使用酸性阳极氧化浴形成的皮膜。

    防尘薄膜用支承框的制造方法、防尘薄膜用支承框及防尘薄膜

    公开(公告)号:CN104471480B

    公开(公告)日:2018-07-27

    申请号:CN201380037999.0

    申请日:2013-07-11

    CPC classification number: G03F1/64 C25D11/16

    Abstract: 本发明提供可通过阳极氧化处理形成充分黑色化的阳极氧化被膜,能在工业上低成本且简便地获得防尘薄膜用支承框的方法、通过该方法得到的防尘薄膜用支承框及防尘薄膜。防尘薄膜用支承框的制造方法以及通过该方法得到的防尘薄膜用支承框及具备光学薄膜体的防尘薄膜,所述方法是具备光学薄膜体用作防尘薄膜的防尘薄膜用支承框的制造方法,其特征在于,对由Al‑Zn‑Mg系铝合金形成的铝材进行退火后,在碱性浴中进行阳极氧化处理,形成明度指数L值在40以下的阳极氧化被膜。

    光罩护膜框及其制造方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105659163A

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201380080439.3

    申请日:2013-10-23

    Abstract: 本发明提供在能够防止雾产生的同时、聚光灯下的表面闪烁缺陷得到减少的光罩护膜框及其制造方法。本发明为光罩护膜框以及光罩护膜框的制造方法,其中光罩护膜框是由铝或铝合金形成的铝框材的表面上具有阳极氧化皮膜的光罩护膜框,阳极氧化皮膜包括使用碱性阳极氧化浴形成的皮膜和使用酸性阳极氧化浴形成的皮膜。

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