公开(公告)号：CN103562131A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201280024785.5

申请日：2012-05-30

Applicant: 日本瑞翁株式会社 ,  独立行政法人产业技术总合研究所

Inventor： 广田光仁 ,  涩谷明庆 ,  上岛贡 ,  畠贤治 ,  汤村守雄

IPC: C01B31/02 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: C01B31/0226 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C01B32/168 ,  C01B2202/08 ,  C23C16/54

Abstract: 本发明提供一种取向碳纳米管集合体的制造装置，其具备：生长单元(3)，该生长单元(3)包含使催化剂的周围环境成为原料气体环境，同时对催化剂及原料气体中的至少一者进行加热从而使取向CNT集合体生长的生长炉(3a)；输送单元(6)，其将取向CNT集合体制造用基板(10)从生长炉(3a)中输送到外部，并且还具备加热部(13c)，该加热部(13c)从生长炉(3a)外对从生长炉(3a)输出取向CNT集合体制造用基板(10)的出口进行加热。