具有透明导电薄膜的触摸屏基材

    公开(公告)号:CN1309318A

    公开(公告)日:2001-08-22

    申请号:CN01104562.0

    申请日:2001-02-16

    Abstract: 一种透明触摸屏基材,包括透明基材以及附着其上的透明导电金属氧化物薄膜,该薄膜包含作为三种金属元素的锌、铟和锡并在酸中可溶。薄膜优选地包含以所有金属计的40%到65%原子含量的锌,及包含以原子含量计的锡量的0.25到1.3倍的铟。薄膜厚度优选地从100到160nm。本发明的触摸屏基材具有三种特性:较高的光透射率;在形成透明电极过程中通过酸蚀刻容易加工;以及透明导电薄膜具有从500到5,000Ω的中度表面电阻。

    具有透明导电薄膜的触摸屏基材

    公开(公告)号:CN1144085C

    公开(公告)日:2004-03-31

    申请号:CN01104562.0

    申请日:2001-02-16

    Abstract: 一种透明触摸屏基材,包括透明基材以及附着其上的透明导电金属氧化物薄膜,该薄膜包含作为三种金属元素的锌、铟和锡并在酸中可溶。薄膜优选地包含以所有金属计的40%到65%原子含量的锌,及包含以原子含量计的锡量的0.25到1.3倍的铟。薄膜厚度优选地从100到160nm。本发明的触摸屏基材具有三种特性:较高的光透射率;在形成透明电极过程中通过酸蚀刻容易加工;以及透明导电薄膜具有从500到5,000Ω的中度表面电阻。

    在衬底表面上淀积膜的方法和由该方法制造的衬底

    公开(公告)号:CN1271784A

    公开(公告)日:2000-11-01

    申请号:CN00108625.1

    申请日:2000-04-22

    CPC classification number: H01J37/3429 C23C14/027 C23C14/352 H01J37/3405

    Abstract: 公开了一种淀积膜的方法,它消除现有技术中不能稳定地获得厚度方向具有一个成分浓度梯度并具有组分梯度的边界的涂敷膜,或者其中二个或多个成分共存为混合物的涂敷膜。在本方法中,成对紧靠着安放二个平面阴极,施加电压,同时交替地转换极性,以使得当结合到阴极之一的靶A被用作负电极时,结合到另一阴极的并且成分不同于靶A的靶B被用作正电极。当衬底在靶的前面通过并横过阴极时,用正离子同时轰击靶A和B。通过一个方向输送的溅射而淀积在厚度方向具有组分梯度边界的涂敷膜或具有由成分A的层和成分B的层组成的二层结构的涂敷膜。

    具有波长选择性的光学元件

    公开(公告)号:CN1386205A

    公开(公告)日:2002-12-18

    申请号:CN01802031.3

    申请日:2001-07-11

    CPC classification number: G02B5/285 G02B5/201 G02B6/29361 G02B6/2938 G02B6/32

    Abstract: 一种具有波长选择性的光学元件,其易于制造并且降低了制造成本。该光学元件包括一个透镜阵列(12),具有一个端面和多个设在此一端面上的透镜(L1-L8);和一个多层膜滤波器(13),形成在该透镜阵列的所述一个端面(14)上。多层膜滤波器包括交替地层叠的高折射率介电层和低折射率介电层,其膜厚根据单个透镜的位置而连续改变。来自多层膜滤波器的透射光的中心波长根据透镜阵列的位置而变化。在混合光从所述单个透镜入射至多层膜滤波器的情况下,该混合光由所述具有不同厚度的多层膜滤波器解复用成为不同中心波长的光束。

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