公开(公告)号：CN113215554A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN202110348181.7

申请日：2021-03-31

Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)

Inventor： 崔雨潇 ,  马家豪 ,  郭平

IPC: C23C16/56 ,  C23C16/27 ,  B23K26/362 ,  B23K26/60

Abstract: 一种基于氢离子刻蚀反应辅助激光刻蚀的金刚石微加工方法，包括：对金刚石试样表面进行预处理，去除表面杂质；将激光光束聚焦在预处理后的金刚石试样表面，进行激光辐照处理，将金刚石试样表层金刚石成分诱变为石墨化成分；对经过激光辐照处理的金刚石试样进行氢离子刻蚀反应，将金刚石试样表面经过激光辐照诱变产生的石墨化成分选择性去除，实现对金刚石试样的微加工。本发明通过采用激光对金刚石试件表面进行石墨化诱变，随后采用氢离子刻蚀选择性去除金刚石试件表面激光诱变的石墨化成分，避免了常规激光刻蚀过程中金刚石表面出现杂质残留和破碎崩边等损伤，显著提升了金刚石微加工的质量和精度。

公开(公告)号：CN112647063A

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN202011372926.5

申请日：2020-11-30

Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)

Inventor： 崔雨潇 ,  郭平 ,  马家豪 ,  戚厚军

IPC: C23C16/56 ,  C23C16/27

Abstract: 一种基于激光辐照的DLC‑纳米金刚石复合涂层制备方法，包括：对纳米金刚石涂层表面进行预处理；将飞秒激光光束聚焦在预处理后的纳米金刚石涂层表面晶粒顶端，进行飞秒激光刻蚀扫描处理，将纳米金刚石涂层表层纳米金刚石团簇原位诱变为类金刚石；3)对类金刚石‑纳米金刚石复合涂层进行后处理。本发明不仅能够在纳米金刚石涂层表面制备类金刚石薄膜，同时大幅改善类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度，具有显著增益效果。本发明获得的类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度大幅降低，在摩擦过程中可显著降低摩擦副的摩擦系数和对磨面的磨损量。本发明的制备方法工艺简单，成本低廉，非常适合于干摩擦及水润滑工况。

公开(公告)号：CN113235073A

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202110348192.5

申请日：2021-03-31

Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)

Inventor： 崔雨潇 ,  马家豪 ,  郭平

IPC: C23C16/505 ,  C23C16/26 ,  C23C16/02

Abstract: 一种基于低温类金刚石涂层增强的多孔材料的制备方法，包括：将多孔材料置于射频化学气相沉积装置中，进行表面预处理，即对多孔材料进行氢离子刻蚀；对多孔材料表面进行射频化学气相沉积类金刚石涂层。本发明制备的多孔材料，显著提升了多孔材料的强度和表面耐磨损性能，制备过程中通过将多孔材料与射频化学气相沉积装置真空反应腔室的进气管相连接，使得反应气体仅可通过多孔材料的空隙进入反应腔室，在制备过程中多孔材料的表面孔隙始终保持反应气体的流通，避免了类金刚石涂层堵塞多孔材料表面孔隙的缺陷，此外，本发明制备过程在常温下进行，避免了多孔材料基体的热变形，简化了后续加工工艺，在气体润滑，尤其是气浮轴承领域具有广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN112647063B

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202011372926.5

申请日：2020-11-30

Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)

Inventor： 崔雨潇 ,  郭平 ,  马家豪 ,  戚厚军

IPC: C23C16/56 ,  C23C16/27

Abstract: 一种基于激光辐照的DLC‑纳米金刚石复合涂层制备方法，包括：对纳米金刚石涂层表面进行预处理；将飞秒激光光束聚焦在预处理后的纳米金刚石涂层表面晶粒顶端，进行飞秒激光刻蚀扫描处理，将纳米金刚石涂层表层纳米金刚石团簇原位诱变为类金刚石；3)对类金刚石‑纳米金刚石复合涂层进行后处理。本发明不仅能够在纳米金刚石涂层表面制备类金刚石薄膜，同时大幅改善类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度，具有显著增益效果。本发明获得的类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度大幅降低，在摩擦过程中可显著降低摩擦副的摩擦系数和对磨面的磨损量。本发明的制备方法工艺简单，成本低廉，非常适合于干摩擦及水润滑工况。