公开(公告)号：CN101522558A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200780037936.X

申请日：2007-10-11

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 斯蒂芬·戴 ,  托马斯·海因茨-海尔牧特·奥特贝莫 ,  乔纳森·赫夫南

IPC: B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  H01L29/06

CPC classification number: H01L29/78696 ,  B81C99/008 ,  B81C2201/0191 ,  B82Y10/00 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02603 ,  H01L21/02642 ,  H01L21/02645 ,  H01L21/02653 ,  H01L21/02664 ,  H01L29/0665 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/0676 ,  H01L29/42392 ,  H01L29/66409 ,  H01L29/868 ,  H01L33/20 ,  H01L33/54 ,  Y10T428/24744

Abstract: 本发明提供一种包封低维结构的方法，所述方法包括在第一衬底上形成第一组(3a)低维结构(1)和第二组(3b)低维结构(1)。将第一组(3a)低维结构(1)和第二组(3b)低维结构(1)包封在基体(5)中，并且第一组(3a)低维结构(1)与第二组(3b)低维结构(1)被以分离方式包封。在包封后，第一组(3a)低维结构(1)可以与第二组(3b)低维结构(1)分离。然后每组可以例如通过转移到第二衬底(7)进行处理。当低维结构形成时，一组中的低维结构的数量和一组的纵横比被限定，并因此可以比使用图案形成技术限定组的传统方法更精确地进行控制。

公开(公告)号：CN101522558B

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN200780037936.X

申请日：2007-10-11

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 斯蒂芬·戴 ,  托马斯·海因茨-海尔牧特·奥特贝莫 ,  乔纳森·赫夫南

IPC: B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  H01L29/06

CPC classification number: H01L29/78696 ,  B81C99/008 ,  B81C2201/0191 ,  B82Y10/00 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02603 ,  H01L21/02642 ,  H01L21/02645 ,  H01L21/02653 ,  H01L21/02664 ,  H01L29/0665 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/0676 ,  H01L29/42392 ,  H01L29/66409 ,  H01L29/868 ,  H01L33/20 ,  H01L33/54 ,  Y10T428/24744

Abstract: 本发明提供一种包封低维结构的方法，所述方法包括在第一衬底上形成第一组(3a)低维结构(1)和第二组(3b)低维结构(1)。将第一组(3a)低维结构(1)和第二组(3b)低维结构(1)包封在基体(5)中，并且第一组(3a)低维结构(1)与第二组(3b)低维结构(1)被以分离方式包封。在包封后，第一组(3a)低维结构(1)可以与第二组(3b)低维结构(1)分离。然后每组可以例如通过转移到第二衬底(7)进行处理。当低维结构形成时，一组中的低维结构的数量和一组的纵横比被限定，并因此可以比使用图案形成技术限定组的传统方法更精确地进行控制。