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公开(公告)号：CN114777666A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210238627.5
申请日：2022-03-11
Applicant: 复旦大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明属于微纳制造技术领域，具体为一种基于频谱面探测的多波段多角度微纳米测量装置。本发明装置包括光源、线性渐变滤波片、偏振片、中继镜组、分光镜、显微物镜、后端镜组、频谱面光路连接组成；通过将连续渐变的多个波段的光，各自以不同的角度入射至待测样品上，并通过显微物镜采集，直至在频谱面使用光电探测器同时采集获得包含待测物形貌信息的光信号，并分析处理该光信号，进而获得待测物体的形貌参数信息。相对于传统单角度光谱型、单色光角谱型测量方案而言，能够获得更为广泛的信息，更好的用于微纳米结构的测量。
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