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公开(公告)号：CN1338113A
公开(公告)日：2002-02-27
申请号：CN99816432.1
申请日：1999-10-15
Applicant: 塞姆特里克斯公司 , 松下电器产业株式会社
Inventor： 林慎一郎 , 大槻建男 , 卡洛斯·A·帕斯·德阿劳约
IPC: H01L21/316
CPC classification number: H01L28/56 , H01L21/31691
Abstract: 一种铁电装置(100、200)包括一个铁电层(112)和一个电极(116、110)。铁电材料是由一种钙钛矿或一种分层超晶格材料组成。在所述铁电层与所述电极之间沉积一种超晶格发生器金属氧化物作为覆盖层(114、204)以提高铁电层的剩余极化容量。
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